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瑞士VAT高真空蝶形控制閥61338-PECK-0001

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上海茂碩機械設備有限公司
2025-07-17 12:43:16
上海市
63

具體成交價以合同協議為準

【簡單介紹】

應用領域	化工,能源,汽車及零部件,電氣,綜合

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61338-PECK-0001
產品概述
型號：61338-PECK-0001

類型：氣動高真空蝶形調節閥（金屬密封，快響應型）

品牌：VAT Group（瑞士真空閥門技術）

產品定位：面向半導體制造和科研設備的超高真空動態控制

【詳細說明】

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61338-PECK-0001

1. 產品概述

型號：61338-PECK-0001
類型：氣動高真空蝶形調節閥（金屬密封，快響應型）
品牌：VAT Group（瑞士真空閥門技術）
產品定位：面向半導體制造和科研設備的超高真空動態控制
核心特點：

超高真空兼容性（XHV級）
耐等離子體腐蝕設計
毫秒級快速響應

2. 關鍵性能參數

參數	技術指標
真空范圍	10?1? mbar ~ 大氣壓
漏率	<1×10?? mbar·l/s（金屬密封版）
閥體材質	316L不銹鋼（電解拋光，Ra≤0.5μm）
蝶板材質	鈦合金鍍Al?O?（可選）
密封類型	全金屬密封（金包覆Inconel）
驅動方式	雙作用氣動（4-6 bar）
響應時間	<50 ms（全開至全關）
溫度范圍	-20°C ~ +200°C（標準）
法蘭標準	ISO-KF/DN40~160、CF 2.75"~8"
控制接口	4-20mA/PROFIBUS DP（可選）

3. 核心技術特點

① 等離子體防護系統

可選Al?O?或Y?O?鍍層，耐受Cl?/HBr/SF?等離子體腐蝕
流道優化設計，顆粒釋放率<5 particles/m3（≥0.1μm）

② 超快動態響應

優化氣路設計，實現<50ms開關速度
位置反饋精度±0.5%（可選±0.1%高精度版）

③ 智能診斷功能

集成溫度/振動傳感器（預測性維護）
支持工業4.0通信協議（OPC UA可選）

4. 典型應用場景

行業	具體應用	特殊要求
半導體制造	原子層沉積(ALD)	脈沖響應<50ms
	等離子刻蝕(Etch)	耐Cl?/HBr腐蝕
光伏設備	PECVD系統	大流量調節（Cv=1.5）
科研裝置	同步輻射光源	無磁化設計
真空鍍膜	濺射鍍膜系統	高精度壓力控制

5. 安裝與維護規范

安裝要求：

使用激光對中儀確保安裝偏差<0.1mm
氣路配置0.1μm過濾器（VAT P/N: FLT-100M）
運行前進行5次空載循環測試

維護計劃：

每季度：密封面檢查（使用VAT專用內窺鏡）
每10?次循環：更換驅動機構密封件
年度保養：氦質譜檢漏測試（建議原廠服務）

6. 同系列型號對比

特性	61338-PECK-0001	61344-PEGN-0001	61340-PACX-0001
響應速度	<50 ms	<30 ms	<50 ms
耐溫性	+200°C	+250°C	+200°C
密封設計	單金屬密封	雙冗余密封	單金屬密封
典型應用	通用真空系統	EUV/ALD	刻蝕設備

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61338-PECK-0001

商品編號61338-PACN-0001

商品編號61336-PEGK-0001

商品編號61338-PEAF-0001

商品編號61340-PAAE-0001

商品編號61344-PEGK-0001

商品編號61336-PECQ-0001

商品編號61334-KAGQ-0001

商品編號61336-PAGN-0001

商品編號61334-KEAK-0001

商品編號61334-KEGN-0001

商品編號61334-KAGK-0001

商品編號61338-PAM1-0001

商品編號61340-PAGN-0001

商品編號61338-PACH-0001

商品編號61338-PAGF-0001


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瑞士VAT高真空蝶形控制閥61338-PECK-0001

1. 產品概述

2. 關鍵性能參數

3. 核心技術特點

4. 典型應用場景

5. 安裝與維護規范

6. 同系列型號對比

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