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瑞士VAT高真空蝶形控制閥61334-KEAE-0001

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上海茂碩機械設備有限公司
2025-07-17 12:21:56
上海市
58

具體成交價以合同協議為準

【簡單介紹】

應用領域	化工,能源,汽車及零部件,電氣,綜合

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61334-KEAE-0001
產品概述
型號：61334-KEAE-0001

類型：高真空蝶形控制閥（氣動驅動，金屬密封）

品牌：VAT Group（瑞士，真空閥門制造商）

適用領域：半導體、光伏、真空鍍膜、科研設備等

【詳細說明】

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61334-KEAE-0001

1. 產品概述

型號：61334-KEAE-0001
類型：高真空蝶形控制閥（氣動驅動，金屬密封）
品牌：VAT Group（瑞士真空閥門制造商）
適用領域：半導體、光伏、真空鍍膜、科研設備等

2. 核心參數

參數	規格
真空范圍	10?? mbar 至大氣壓（超高真空兼容）
漏率	<1×10?? mbar·l/s（金屬密封）
閥體材質	316L不銹鋼（電解拋光，Ra ≤ 0.8 μm）
密封材質	全金屬密封（金包覆不銹鋼，耐高溫烘烤）
驅動方式	氣動執行（單/雙作用可選）
響應時間	<100 ms（全開至全關）
溫度范圍	-20°C 至 +150°C（標準），可選高溫版（+250°C）
法蘭標準	ISO-KF、CF 或定制（SEMI標準兼容）
控制信號	可選4-20mA / 0-10V 反饋，或數字通信（RS485）

3. 產品特點

? 超高真空性能

適用于XHV（10?? mbar）環境，滿足半導體ALD、離子注入等嚴苛工藝需求。

? 耐腐蝕設計

金屬密封（可選PTFE增強涂層），兼容Cl?、HBr、WF?等腐蝕性氣體。

? 快速響應

<100 ms開關速度，適用于動態氣體控制（如CVD脈沖沉積）。

? 長壽命

機械壽命 >10?次循環，維護周期長，降低設備停機時間。

4. 典型應用

行業	設備/工藝	作用
半導體	刻蝕（Etch）、ALD/CVD	高真空隔離，氣體流量精準控制
光伏	PECVD、濺射鍍膜	快速抽真空，維持腔室壓力穩定
科研	同步輻射、電子顯微鏡	超高真空環境下的氣流調節

5. 安裝與維護

安裝要點

法蘭對接：使用無應力安裝工具，避免閥體變形（扭矩≤10 Nm）。
氣路連接：確保氣源潔凈（推薦0.1 μm過濾器）。

維護建議

常規檢查：每3個月檢查密封面磨損情況。
深度維護：每2年或50萬次循環后更換密封組件（原廠維修包可選）。

常見問題（FAQ）

Q1：能否替代61332-KEAF-0001？
→ 可以，但需確認密封材質是否匹配（KEAF為金屬密封，其他型號可能不同）。

Q2：是否支持EUV光刻機應用？
→ 支持，但需選配超潔凈版本（低顆粒釋放，需特殊訂貨）。

Q3：最小起訂量（MOQ）？
→ 原廠1臺起訂

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61334-KEAE-0001

商品編號61336-PAAE-0001

商品編號61336-PEGF-0001

商品編號61338-PAGX-0001

商品編號61336-PECX-0001

商品編號661334-KACX-000

商品編號61340-PEGF-0001

商品編號61340-PEGQ-0001

商品編號61338-PEAK-0001

商品編號61344-PEAE-0001

商品編號61328-KEAX-0001

商品編號61332-KEAX-0001

商品編號61328-KEGF-0001

商品編號61348-PECK-0001

商品編號61346-PEGX-0001

商品編號61344-PACX-0001


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瑞士VAT高真空蝶形控制閥61334-KEAE-0001

1. 產品概述

2. 核心參數

3. 產品特點

4. 典型應用

5. 安裝與維護

安裝要點

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