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瑞士VAT高真空蝶形控制閥61340-PACX-0001

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上海茂碩機械設備有限公司
2025-07-17 12:06:50
上海市
57

具體成交價以合同協議為準

【簡單介紹】

應用領域	化工,石油,汽車及零部件,電氣,綜合

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61340-PACX-0001

產品基礎信息
型號：61340-PACX-0001

類型：氣動高真空蝶形控制閥（金屬密封，快響應型）

品牌：VAT Group（瑞士，專精超高真空解決方案）

核心定位：面向半導體、光伏及科研領域的高動態流量控制場景

【詳細說明】

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61340-PACX-0001

1. 產品基礎信息

型號：61340-PACX-0001
類型：氣動高真空蝶形控制閥（金屬密封，快響應型）
品牌：VAT Group（瑞士，專精超高真空解決方案）
核心定位：面向半導體、光伏及科研領域的高動態流量控制場景

2. 關鍵設計特性

① 閥體與密封系統

材質組合：

閥體：316L不銹鋼（電解拋光，Ra ≤ 0.5 μm）
蝶板：鈦合金鍍Al?O?（抗等離子體腐蝕，適用于刻蝕/CVD工藝）
密封：全金屬密封（金包覆不銹鋼，漏率 <1×10?? mbar·l/s）

② 驅動與控制

執行機構：

氣動驅動（雙作用），響應時間 <50 ms（一梯隊）
可選電動執行器（步進電機，開度控制精度 ±0.1%）

反饋系統：

標配模擬量輸出（0-10V對應0-100%開度）
可選數字通信（PROFIBUS DP或DeviceNet）

③ 法蘭與連接

法蘭標準：

ISO-KF（DN40至DN160）、CF（2.75"至8"）
支持SEMI標準定制（如NW法蘭）

接口選項：

氣路接口：1/4" NPT或Swagelok VCR
電氣接口：M12航空插頭（IP67防護）

3. 性能參數詳解

參數類別	技術指標	測試條件
真空范圍	10?1? mbar 至大氣壓	氦質譜檢漏（金屬密封）
流量系數（Cv）	1.2	空氣介質，ΔP=1 bar
耐溫性	-20°C 至 +200°C（金屬密封）	烘烤模式（持續48小時）
耐腐蝕性	兼容Cl?、HBr、WF?等（需指定鍍層）	ASTM G31加速腐蝕測試
機械壽命	>10?次循環（金屬密封）	MIL-STD-810G振動測試

4. 半導體行業應用場景

① 刻蝕設備（Etch）

功能：腐蝕性氣體快速切斷（如Cl?/HBr等離子體環境）
定制需求：Al?O?鍍層蝶板 + 雙密封結構（冗余設計）

② 原子層沉積（ALD）

優勢：

超快響應（<30 ms脈沖控制）匹配前驅體脈沖注入
漏率 <5×10?1? mbar·l/s 確保薄膜純度

③ 離子注入機

關鍵指標：

無磁化設計（鈦合金材質）避免束流干擾
XHV級密封（烘烤后漏率維持10?1? mbar·l/s）

5. 選型對比（同系列型號）

型號	61340-PACX-0001	61332-KEAF-0001	61348-PEGH-0001
密封類型	金屬密封	金屬密封	PTFE密封
響應速度	<50 ms	<100 ms	<80 ms
耐溫上限	+200°C	+150°C	+120°C
適用工藝	刻蝕/離子注入	CVD/傳輸	非腐蝕性氣體

6. 安裝與維護要點

① 安裝規范

扭矩控制：

法蘭螺栓扭矩 ≤15 Nm（ISO-KF）、≤25 Nm（CF）

對中要求：

軸向偏差 <0.1 mm，角度偏差 <0.5°

② 維護周期

預防性維護：

每50萬次循環檢查密封面磨損（原廠提供磨損檢測工具包）

深度保養：

每2年更換驅動機構潤滑脂（VAT專用真空潤滑脂 P/N: LUB-VAC-002）
瑞士VAT高真空蝶形控制閥61340-PACX-0001

常見問題速查

Q：能否兼容EUV光刻機的真空環境？
→ 可以，但需選配特殊潔凈版（后綴加“-EUV"，顆粒釋放率降低50%）

Q：與MKS 649B的互換性？
→ 需驗證法蘭接口和控制信號匹配，通常需轉接板（VAT提供適配方案）

Q：最小訂單量（MOQ）？
→ 原廠1臺起訂，批量（≥5臺）可享8%折扣

優勢供應：

商品編號61328-KAGH-0001

商品編號61328-KEGH-0001

商品編號61346-PEAH-0001

商品編號61332-KEAK-0001

商品編號61346-PACE-0001

商品編號61348-PEAX-0001

商品編號61328-KEGE-0001


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瑞士VAT高真空蝶形控制閥61340-PACX-0001

1. 產品基礎信息

2. 關鍵設計特性

① 閥體與密封系統

② 驅動與控制

③ 法蘭與連接

3. 性能參數詳解

4. 半導體行業應用場景

① 刻蝕設備（Etch）

② 原子層沉積（ALD）

③ 離子注入機

5. 選型對比（同系列型號）

6. 安裝與維護要點

① 安裝規范

② 維護周期

常見問題速查

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