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一、概述

SE-Vi 是一款集成式原位光譜橢偏儀，針對有機/無機鍍 膜工藝研究的需要開發的原位薄膜在線監測中的定制化 開發，快速實現光學薄膜原位表征分析。

二、測試案例

成膜工藝監控

膜厚表征

三、產品應用

廣泛應用于金屬薄膜、有機薄膜、無機薄膜的物理/化學氣相沉積，ALD沉積等光學薄膜工藝過程中實際原位在線監測并實時反饋測量物性數據。

技術參數

武漢頤光科技有限公司(Wuhan eoptics Technology Co., Ltd.)是國內專業從事橢偏儀以及光學納米測量設備研發、制造與銷售的高新技術企業，公司由多位具有二十多年偏振光學測量經驗的專家聯合創辦，與華中科技大學緊密合作，是國內橢偏光學儀器領域頗具優勢的技術團隊。

公司注冊于武漢東湖國家自主創新示范區，立足光谷，面向全球，為科研和工業用戶提供儀器、軟件、服務等綜合解決方案。

產品廣泛應用于集成電路、半導體、光伏太陽能、平板顯示、LED照明、存儲、生物、醫藥、化學、電化學、光學鍍膜、光刻材料等眾多領域。