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東莞市隆創(chuàng)真空設(shè)備有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第5年

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LED和化合物半導(dǎo)體制造的新型真空泵

時(shí)間:2020/2/19閱讀:1030
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干泵技術(shù)包括羅茨泵、爪式泵和螺桿式技術(shù),Edwards新型CXS真空泵等干泵設(shè)備的一個(gè)關(guān)鍵優(yōu)勢(shì)就是它們不使用水或油來進(jìn)行真空階段的密封或潤(rùn)滑,因而這些設(shè)備的運(yùn)行成本非常經(jīng)濟(jì),可讓用戶優(yōu)化真空工藝,并大限度地降低總體擁有成本。

  干泵消除了工藝過程污染油或油搭載進(jìn)入尾氣處理系統(tǒng)的風(fēng)險(xiǎn),它們不會(huì)產(chǎn)生廢物、或者污染寶貴的溶劑、產(chǎn)品或環(huán)境。正因?yàn)檫@樣,與基于液體的水環(huán)泵、油封泵和蒸汽噴射系統(tǒng)相比,干泵設(shè)備除了能夠提高速度、工藝可重復(fù)性、靈活性和生產(chǎn)率之外,還能夠顯著節(jié)省運(yùn)營(yíng)成本、維護(hù)成本和安裝空間。

  易于使用的CXS泵系列采用的錐形螺桿技術(shù),具有*的可靠性,而且安裝簡(jiǎn)單、環(huán)保并提供更高的液態(tài)和固態(tài)物處理能力。

  *的螺桿技術(shù)能夠沿著轉(zhuǎn)子(rotor)提供平滑的漸進(jìn)壓縮,從而在所有入口壓力下提供改進(jìn)的熱量控制和抽空。此外,CXS泵的特點(diǎn)是具有*的溫度管理系統(tǒng)(temperature management system, TMS),將溫度保持在可控制的水平上,實(shí)現(xiàn)工藝性能的優(yōu)化。

  創(chuàng)新的CXS泵設(shè)計(jì)包含了有助于實(shí)現(xiàn)出色性能的新穎壓縮和馬達(dá)技術(shù),相比標(biāo)準(zhǔn)的馬達(dá)及整體驅(qū)動(dòng)和控制系統(tǒng),使用浸沒式空氣間隙封裝馬達(dá)(flooded air-gap potted motors),效率大大提高,從而降低總體擁有成本。

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