干式螺桿真空泵，它利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉而產生的吸氣和排氣作用的抽氣設備。它的優勢彌補了油封式真空泵的不足，我們都稱之為油封式真空泵的升級版。但是干式螺桿真空泵的造價也是它的不足之處。接下來主要介紹它的優點和缺點：

干式螺桿真空泵優點：

1、工作腔及螺桿轉子表面有防腐涂層，可適應惡劣工況2、氣體在泵內無壓縮，適宜抽取可凝性氣體

3、不耗油,無滴漏

4、結構簡單，維護方便。

5、被抽氣體直接排出泵體，不污染水，無環保壓力，氣體回收更便捷。

干式螺桿真空泵缺點：

1、由于螺桿泵加工難度大，我國使用的螺桿泵主要依靠進口，價格非常昂貴。

2、不適于抽除含有爆炸性的氣體。

3、不適于抽除含氧過高的氣體。

隨著我國工業界的發展，在半導體工業、液晶顯示器等工藝制造中，對清潔真空環境的要求越來越高，而傳統的有油真空泵已經達不到這樣的要求了。螺桿型干式真空泵以其抽速范圍寬、結構簡單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、壽命長、能耗低、無油污染等優點，得到越來越多制造和應用單位的重視，在干式真空泵市場中占有重要的地位。在歐美和日本等發達國家，螺桿型干式真空泵在很多領域已經越來越多的代替了傳統的有油泵。