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反射膜厚儀 FT100

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江蘇集萃中科旨在光學組件、光學儀器、智能光電感知三大方向,開展系列關鍵技術攻關與產業化實踐,目前已形成3D光學輪廓儀、白光干涉儀、反射膜厚儀、光致發光、無損檢測儀、光譜橢偏儀等標準化產品。公司服務涵蓋光學儀器的研發、生產及制造一站式服務,同時為客戶提供基于智能光電感知的智慧工廠整體解決方案。




白光干涉儀、光學輪廓儀、粗糙度儀、光學膜厚儀、光譜橢偏儀等光學產品。

產地類別 國產 價格區間 面議
應用領域 綜合

反射膜厚儀 FT100描述:

緊湊型反射式膜厚儀測量系統,初學者也能輕松上手解析,單點對焦并測量耗時1秒內完成,支持薄膜到厚膜、單層到多層薄膜分析。用于表征介質保護膜、半導體薄膜、玻璃鍍膜等各種樣式薄膜膜厚的光學計量專業化工具。


反射膜厚儀 FT100功能

膜層厚度無損測量

避免傳統接觸式測量(如臺階儀)可能造成的劃傷或形變。

支持單層、多層膜測量

通過干涉條紋間距或反射率極值點直接計算厚度。

便攜式設計

模塊化探頭,緊湊機身,產線快速抽檢。

支持平面曲面測量

通過可變入射角設計或曲面補償算法(如修正光程差),測量圓柱透鏡、球面鏡等。

可測多種狀態薄膜

如SiO?、光刻膠、PET薄膜,可通過多峰干涉解析各層厚度。

支持參數調整測量

用戶可保存不同材料的測量模板,提升批量檢測效率。


產品特點

1.高精度、高穩定性

2.光學干涉方式,無損測量

3.多類解析算法,可精準和估算測量,滿足不同測量需要

4.高速測量,絕大多數樣品可1s內完成測量

5.軟件簡潔,測量一鍵操作,簡單易用

6.機型結構小巧,輕質化設計,便于攜帶


三視圖

  • 反射膜厚儀 FT100

    正視圖

  • 反射膜厚儀 FT100

    側視圖

  • 反射膜厚儀 FT100

    后視圖

  • 反射膜厚儀 FT100

    正視圖

  • 反射膜厚儀 FT100

    側視圖

  • 反射膜厚儀 FT100

    后視圖


技術參數

波長范圍

400-850nm

測量范圍(光學厚度)

50nm-80μm

測量重復性(RMS)

0.4nm

測量精度(與橢偏儀對比)

2nm或0.4%(以值為準)

入射角度

90°

光斑尺寸

標準1.5mm

測量時間

4ms-100ms

基片測量范圍

100mm,360°

通信接口

USB3.0




檢測案例:

  • 反射膜厚儀 FT100

    PVA膜檢測


  • 反射膜厚儀 FT100

    硅上鍍二氧化硅膜




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