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化工儀器網>產品展廳>光學儀器及設備>光學實驗設備>其它光學實驗設備>ACA 無掩模光刻機 高精度步進光刻設備

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ACA 無掩模光刻機 高精度步進光刻設備

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托托科技是一家是專注于光學顯微加工及檢測的光學設備制造廠商。目前公司擁有五個核心產品線:

(A)無掩膜版光刻設備

(B)磁學產品

(C)多模態光電顯微鏡

(D)超高精度3D光刻產品

(E)3D顯微鏡

已經形成了集設計、研發、制造、銷售及客戶咨詢服務為一體的高科技企業,致力于給客戶提供技術支持,以技術和細致設計造就品質,以耐心服務和企業擔當贏得良好口碑。


公司旗下產品的品牌名稱為TuoTuo,擁有中國及新加坡兩個研發中心,其中托托科技(蘇州)是中國區業務的運營主體,TuoTuo Technology (Singapore) Pte.Ltd. 是國際業務的運營主體。




無掩膜版紫外光刻機,超高精度3D光刻產品,形貌表征產品,光電光譜分析產品,3D成像顯微物鏡,磁光電聯合分析

應用領域 電子/電池,航空航天,電氣,綜合

在當今科技飛速發展的時代,芯片制造技術日新月異,光刻機作為芯片制造流程中的核心設備,發揮著舉足輕重的作用。其中,無掩模光刻機 高精度步進光刻設備以其優勢,逐漸成為科研領域的熱門選擇。


無掩模光刻機,顧名思義,是一種無需使用傳統掩模版的光刻設備。它通過直接對晶圓進行曝光,實現圖案的轉移,具有以下顯著優勢:

高靈活性:無掩模光刻機摒棄了傳統掩模版,使得光刻過程更加靈活。研究人員可根據需求快速調整設計方案,縮短研發周期,降低成本。

高精度:ACA系列無掩模光刻機采用空間光調制技術,實現了數字掩模光刻,特征尺寸可達0.8μm,滿足高精度光刻需求。

廣泛應用:無掩模光刻機不僅適用于傳統的2D光刻,還能實現2.5D光刻(即灰度光刻),廣泛應用于科學研究、定制化生產、快速原型制造、電子器件、生物醫藥、光學元件、微機械等領域。

長壽命、高功率紫外光源:設備搭載的紫外光源具有長壽命、高功率的特點,保證了光刻過程的穩定性和可靠性。

原位光繪和交互式套刻指引功能:研究人員可通過原位光繪功能實時觀察光刻效果,便于調整參數。交互式套刻指引功能使光刻和套刻過程更加容易和精準。

6英寸光刻面積:ACA系列無掩模光刻機支持6英寸光刻面積,滿足大部分科研需求。

高精度步進光刻:設備采用高精度步進光刻技術,確保光刻圖案的精確度。


托托科技科研版無掩模光刻機 高精度步進光刻設備ACA系列憑借其高靈活性、高精度、無掩模的優勢,為科研工作提供了強大的支持。隨著無掩模光刻技術的不斷進步,相信未來將在更多領域發揮重要作用,為人類社會帶來更多福祉。




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