應用領域 | 電子/電池,航空航天,電氣,綜合 |
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在當今科技飛速發展的時代,芯片制造技術日新月異,光刻機作為芯片制造流程中的核心設備,發揮著舉足輕重的作用。其中,無掩模光刻機 高精度步進光刻設備以其優勢,逐漸成為科研領域的熱門選擇。
無掩模光刻機,顧名思義,是一種無需使用傳統掩模版的光刻設備。它通過直接對晶圓進行曝光,實現圖案的轉移,具有以下顯著優勢:
高靈活性:無掩模光刻機摒棄了傳統掩模版,使得光刻過程更加靈活。研究人員可根據需求快速調整設計方案,縮短研發周期,降低成本。
高精度:ACA系列無掩模光刻機采用空間光調制技術,實現了數字掩模光刻,特征尺寸可達0.8μm,滿足高精度光刻需求。
廣泛應用:無掩模光刻機不僅適用于傳統的2D光刻,還能實現2.5D光刻(即灰度光刻),廣泛應用于科學研究、定制化生產、快速原型制造、電子器件、生物醫藥、光學元件、微機械等領域。
長壽命、高功率紫外光源:設備搭載的紫外光源具有長壽命、高功率的特點,保證了光刻過程的穩定性和可靠性。
原位光繪和交互式套刻指引功能:研究人員可通過原位光繪功能實時觀察光刻效果,便于調整參數。交互式套刻指引功能使光刻和套刻過程更加容易和精準。
6英寸光刻面積:ACA系列無掩模光刻機支持6英寸光刻面積,滿足大部分科研需求。
高精度步進光刻:設備采用高精度步進光刻技術,確保光刻圖案的精確度。
托托科技科研版無掩模光刻機 高精度步進光刻設備ACA系列憑借其高靈活性、高精度、無掩模的優勢,為科研工作提供了強大的支持。隨著無掩模光刻技術的不斷進步,相信未來將在更多領域發揮重要作用,為人類社會帶來更多福祉。