據SEMI 標準 C46-0306,對于25%的TMAH，通常要求其每種污染元素的濃度低于10ppb,甚至有些客戶要求更低。實驗表明，DRC ICP-MS非常適合于UPW領域的超低含量（ng/L級)的樣品的常規定量分析。通過計算機對標準模式及反應模式的切換，使得每次樣品測量干擾降低至少。
提供商 |
珀金埃爾默企業管理（上海）有限公司 | 下載次數 |
493次 |
資料大小 |
297KB | 資料類型 |
PDF 文件 |
資料圖片 |
-- | 瀏覽次數 |
268次 |
17
立即詢價
您提交后，專屬客服將第一時間為您服務