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鄭州賽熱達窯爐有限公司>>CVD管式氣氛爐>> 安晟高真空CVD化學氣相沉積管式爐系統(tǒng)

高真空CVD化學氣相沉積管式爐系統(tǒng)

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  • 高真空CVD化學氣相沉積管式爐系統(tǒng)
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參考價 100
訂貨量 1
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號 安晟
  • 品牌 安晟美華
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 鄭州市
在線詢價 收藏產(chǎn)品

更新時間:2020-03-03 15:06:44瀏覽次數(shù):1530

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 加熱方式 電阻絲 排 碳棒 硅鉬棒
價格區(qū)間 5千-1萬 控溫精度 ±1℃
內(nèi)部尺寸 φ40 60 80 100 120mm 升溫速度(達到最高溫) 10-60/min
儀器種類 箱式爐 最大功率 1-30KkW
最高溫度 1200-1800℃
高真空CVD化學氣相沉積管式爐系統(tǒng)是一種實驗室熱處理儀器,目前主要應用于大專院校、科研院所、工礦企業(yè)等實驗和小批量生產(chǎn)之用。由于實驗電爐種類豐富功能不同,選擇合適的電爐進行試驗是很重要的一環(huán),而無論選擇哪種試驗掌握實驗方法非常重要。

詳細介紹

高真空CVD化學氣相沉積管式爐系統(tǒng)產(chǎn)品介紹:

該款CVD系統(tǒng), 可以分為低溫、中溫、高溫三種加熱形式,加熱元件可分為電阻絲(1200℃以下使用)、硅碳棒(1400℃以下使用)、硅鉬棒(1700℃以下使用)等;

CVD管式爐由供氣系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、真空系統(tǒng)等組成;

1)加熱系統(tǒng)可以分單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)、多溫區(qū)等;

2)真空系統(tǒng)可分為低真空和高真空,高極限真空可以達到10-4Pa(分子泵組);

3)供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)用戶可選質(zhì)量流量計或浮子流量計,混氣路數(shù)用戶可選2路、3路、4路、5路、6路等相混合(主要根據(jù)客戶工藝要求定制);

爐底(可選)配安裝一對滑軌,可用手滑動(主要適用于1200℃以下加裝滑軌)??梢赃_到快速升降溫的目的,為取得快加熱速率,可以預先加熱爐子到設定的溫度,然后移動爐子到樣品區(qū)??稍跇悠芳訜岷笠苿訝t子到另一端,實現(xiàn)快速降溫功能。

主要用途:

應用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想產(chǎn)品。

高真空CVD化學氣相沉積管式爐系統(tǒng)主要功能和特點:

1、 1200℃爐蓋可打開,可以隨時觀察加熱的物料,并能迅速降溫,滿足材料熱的實驗需要;

2、 爐膛采用*真空吸附成型的高純氧化鋁多晶纖維制成,保溫效果好,耐用節(jié)能,反射率高、溫場均衡,等特點;

3、1)、加熱元件采用高電阻優(yōu)質(zhì)合金絲0Cr27Al7Mo2,高發(fā)熱溫度可達1200℃;

     2)、加熱元件采用優(yōu)質(zhì)硅碳棒,高發(fā)熱溫度可達1400℃;

     3)、加熱元件采用高溫硅鉬棒,高發(fā)熱溫度可達1700℃;

4、數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)是由多路質(zhì)量流量計,流量顯示儀等組成,實現(xiàn)氣體的流量的精密測量和控制;每條氣體管路均配備高壓逆止閥,保證系統(tǒng)的安全性和連續(xù)均勻性。

5、爐管采用高純石英管高溫下化學穩(wěn)定性強,耐腐蝕,熱膨脹系數(shù)極小,能承受熱的溫度

6、采用KF快速法蘭密封,僅需要一個卡箍就能完成法蘭的連接,放、取物料方便快捷,避免了螺栓密封人為操作導致漏氣的可能;減少了因安裝法蘭而造成加熱管損壞的可能。

7、預留了真空、氣路快速接口,可配合我司真空系統(tǒng)、混氣系統(tǒng)使用;

8、我司可預留485轉(zhuǎn)換接口,可通過我部的軟件,與計算機互聯(lián),可實現(xiàn)單臺或者多臺電爐的遠程控制、實時追蹤、歷史記錄、輸出報表等功能;可安裝無紙記錄裝置,實現(xiàn)數(shù)據(jù)的存儲、輸出;

9加熱采用上蓋開啟,超溫和斷偶保護警報并斷電,漏電保護,操作安全可靠。

 

技術(shù)參數(shù):

型號

AS-1200C

AS-1400C

AS-1700C

高溫度

1200℃

1400℃

1700℃

工作溫度

≤1100℃

≤1300℃

≤1600℃

加熱元件

合金加熱絲

優(yōu)質(zhì)硅碳棒

優(yōu)質(zhì)硅鉬棒

溫控方式

智能化30段PID微電腦可編程控制

溫控保護

具有超溫及斷偶報警功能

熱 電 偶

K型/S型/B型

爐膛材質(zhì)

高純氧化鋁多晶纖維

加熱速率

0-20℃/分

恒溫精度

±1℃

均 勻 性

±5℃

爐殼結(jié)構(gòu)

雙層殼體帶風冷系統(tǒng)

供電電源

110-480V  50/60Hz

氣路控制

浮子流量計/質(zhì)量流量計

真空系統(tǒng)

旋片泵/擴散泵/分子泵

可 選 配

水冷機/數(shù)顯真空計

售后服務

12個月質(zhì)保、終身保修(易損件除外)

  更多規(guī)格可根據(jù)用戶需要定制。

 

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