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Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TGkineMI3800B
Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TGkineMI3800B
渦輪分子泵（Turbomolecular Pump）是一種通過高速旋轉葉片與氣體分子動量交換來實現抽氣作用的高真空泵。1958年由德國科學家貝克（W. Becker）研制成功，現已成為高真空和超高真空系統中最核心的抽氣設備之一。渦輪分子泵通過轉子葉片以超音速（通常300-600m/s）運動，直接撞擊氣體分子并賦予其定向速度，從而在進氣口端產生高真空環境。
對于易發生反應產物積累的器件，該系列采用我們的保溫結構和自熱機構，顯著降低反應產物的沉積速率。
傳統磁浮軸承渦輪分子泵反應產物的對策
一種加熱包括目標部分在內的整個周圍區域并分散熱量的方法。 它不能被有效地使用。
? 目標區域外的熱效應
TGkineMI-B 系列的措施
除了通過外部加熱器提高溫度外，還可以有效地利用泵內部產生的吸入氣體產生的摩擦熱，有效地提高氣體接觸部分的溫度
，減少外部加熱器的輸出功率，提高節能效果！
?減少對主要部件的熱影響，減少對泵的損傷。
?保持最佳溫度，防止在排氣管中產生產品。
用
半導體、FPD、MEMS 制造等蝕刻設備
易產生反應產物的工藝設備
技術發展趨勢
軸承技術革新
磁懸浮軸承的普及應用
混合陶瓷軸承優化
自潤滑軸承系統
材料與制造工藝
碳纖維復合材料轉子
3D打印葉輪技術
超精密加工工藝
智能化發展
物聯網遠程監控
AI預測性維護
數字孿生技術應用
性能提升方向
更高轉速設計（>90000rpm）
更寬的工作壓力范圍
提高輕質氣體抽速
高斯摩(成都)國際貿易有限公司 - 主營產品： 主要經營光學設備、電子計測、科學儀器、機械加工設備、環境試驗 ...
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