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所在地：日本
貨物所在地：四川成都市
更新時(shí)間：2025/6/19 16:46:43
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Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TGkine 4200M-R
Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TGkine 4200M-R
渦輪分子泵（Turbomolecular Pump）是一種通過高速旋轉(zhuǎn)葉片與氣體分子動(dòng)量交換來實(shí)現(xiàn)抽氣作用的高真空泵。1958年由德國科學(xué)家貝克（W. Becker）研制成功，現(xiàn)已成為高真空和超高真空系統(tǒng)中最核心的抽氣設(shè)備之一。渦輪分子泵通過轉(zhuǎn)子葉片以超音速（通常300-600m/s）運(yùn)動(dòng)，直接撞擊氣體分子并賦予其定向速度，從而在進(jìn)氣口端產(chǎn)生高真空環(huán)境。
用
■ 半導(dǎo)體制造設(shè)備
■ FPD 制造設(shè)備
■ 太陽能電池制造設(shè)備
■ 玻璃、鏡頭等光學(xué)元件的加工
■ 薄膜加工
■ 加速器/空間環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備
■ 省電設(shè)計(jì)
■ 設(shè)定參數(shù)、運(yùn)行數(shù)據(jù)、異常歷史等可存儲(chǔ)在泵體內(nèi)。
* 即使在大修期間更換控制器，也可以
傳輸數(shù)據(jù)。
■ 各種通信規(guī)格 EtherCAT 兼容
■ 國際 CE/NRTL/SEMI-S2
渦輪分子泵的核心優(yōu)勢(shì)
真空性能
可獲得10??mbar以上的超高真空
抽速曲線平坦，工作范圍寬
對(duì)輕質(zhì)氣體（如氫氣）抽速高
清潔無污染
無油，不會(huì)產(chǎn)生碳?xì)浠衔镂廴?/p>
適合潔凈敏感工藝
符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)
高效節(jié)能
比擴(kuò)散泵節(jié)能50%以上
快速啟動(dòng)，縮短工藝周期
功率因數(shù)高
穩(wěn)定可靠
平均時(shí)間超過30000小時(shí)
抗突發(fā)大氣沖擊能力強(qiáng)
振動(dòng)噪聲小
智能控制
變頻調(diào)速功能
實(shí)時(shí)狀態(tài)監(jiān)測(cè)
故障自診斷系統(tǒng)
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