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供應(yīng)簡(jiǎn)介

渦輪分子泵（Turbomolecular Pump）是一種通過高速旋轉(zhuǎn)葉片與氣體分子動(dòng)量交換來(lái)實(shí)現(xiàn)抽氣作用的高真空泵。1958年由德國(guó)科學(xué)家貝克（W. Becker）研制成功，現(xiàn)已成為高真空和超高真空系統(tǒng)中最核心的抽氣設(shè)備之一。渦輪分子泵通過轉(zhuǎn)子葉片以超音速（通常300-600m/s）運(yùn)動(dòng)，直接撞擊氣體分子并賦予其定向速度，從而在進(jìn)氣口端產(chǎn)生高真空環(huán)境。

詳細(xì)介紹

Osaka Vacuum大阪真空渦輪分子泵 TG553

進(jìn)氣法蘭		VG150 CF160 ISO-B160 標(biāo)準(zhǔn)
抽速	N2 （升/秒）	550
	N2（帶保護(hù)網(wǎng)）（升/秒）	430
	H2 （升/秒）	370
最大壓縮比	N2	1×108
最大壓縮比	H2	3×103
極限壓力	VG/ISO-B/CF （帕）	<1×10-6/< 1×10-7
極限壓力	VG?ISO-B/CF （托）	<7.5×10-9/< 7.5×10-10
最大氣體流速※1	N2 （SCCM）	1500
啟動(dòng)時(shí)間	（分鐘）	8-13
停機(jī)時(shí)間	（分鐘）	8-11
允許的輔助壓力	（Pa / Torr）	300/2.3
推薦的輔助泵	（升/分鐘）	250
潤(rùn)滑油量	（毫升）	260
安裝姿勢(shì)		垂直（±10°）
質(zhì)量	（公斤）	41
控制器類型		TC553 系列

用

?半導(dǎo)體制造

?電子槍排氣、離子源排氣

?FPD 制造

?表面處理、表面改性

?各種電子元件的制造

?管材、光學(xué)元件的制造

?加速器、放射線設(shè)施、聚變研究

?熱處理

?研發(fā)

* 對(duì)于清潔工藝，請(qǐng)選擇 TG-F 系列、TG-M 系列或 TGkine 系列。

渦輪分子泵的顯著特點(diǎn)

（一）結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)特征

多級(jí)渦輪葉片組（通常10-20級(jí)）

精密加工的鋁合金或鈦合金轉(zhuǎn)子

超精密軸承系統(tǒng)（陶瓷球軸承或磁懸浮軸承）

緊湊的模塊化設(shè)計(jì)

內(nèi)置智能控制系統(tǒng)

（二）性能參數(shù)特點(diǎn)

工作壓力范圍：10?3至10?11mbar

壓縮比高達(dá)101?（對(duì)氮?dú)猓?/p>

抽速范圍：10-5000L/s

啟動(dòng)時(shí)間短（3-15分鐘）

（三）運(yùn)行維護(hù)特點(diǎn)

需要前級(jí)泵（通常為旋片泵或干泵）支持

對(duì)振動(dòng)和沖擊敏感

定期軸承維護(hù)要求

自動(dòng)保護(hù)功能完善（過載、過熱等）

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