美國Entegris   在線氣體過濾器 華北

美國Entegris   在線氣體過濾器 華北

Wafergard® II SF Mini/Mini XL 在線氣體過濾器，非常適合需要高顆粒去除效率且全不銹鋼結構的高純度氣體系統。

全 316L 不銹鋼結構與大多數半導體工藝氣體具有良好的化學相容性

專門的清潔和高溫烘烤可實現的初始清潔度，從而實現快速氣體啟動

高流速/低壓降特性適用于低蒸氣壓氣體 高顆粒去除效率減少了晶圓上的缺陷，提高了產量

提供標準和加長 （XL） 長度  應用Wafergard® II SF Mini/Mini XL 在線氣體過濾器應用超純氣體管線

高溫應用 動態壓力應用 惰性和反應性氣體* 氣柜 燃氣板 閥島箱 聯播

產品規格材料 濾芯 316L 不銹鋼  外殼、端蓋 低硫 316L 不銹鋼 

初始下游清潔度 ≤0.03 個顆粒/升（≤1 個顆粒/英尺3） ≥ 0.01 μm  去除等級 ≥0.0015 微米 

顆粒截留 在 30 slm （Mini） 和 60 slm （Mini XL） 下去除所有顆粒的去除率超過 99.9999% （6 LRV）;以具穿透力的粒徑為參考  內飾表面光潔度 ≤5 μin Ra 

氦氣泄漏等級 合格 2 x 10-11帕米3/秒 （2 x 10-10 大氣壓 cc/sec） 

  測試 9 × 10-10帕米3/秒 （9 x 10-9大氣壓 cc/sec） 

最大條件 最大工作壓力： 16.2 MPa （162 bar， 2346 psig） @ 20°C （68°F） 

  最大正向/反向壓差： 3 MPa（30 巴，435 psid）@ RT 

  最高工作溫度： 惰性氣體：400°C （752°F） 

流量等級 查看性能數據