美國(guó)Entegris   在線氣體過(guò)濾器  杭州

美國(guó)Entegris   在線氣體過(guò)濾器  杭州

Wafergard® GT-Plus 在線氣體過(guò)濾器可靠地去除流速高達(dá) 30 slpm 的惰性氣體中的顆粒。

提供高效、低成本的惰性氣體使用點(diǎn)過(guò)濾 > 99.9999999% 去除所有直徑大于 0.015 μm 的顆粒

應(yīng)用Wafergard® GT-Plus 在線氣體過(guò)濾器應(yīng)用低進(jìn)氣過(guò)濾器 晶圓傳輸系統(tǒng) 清潔干燥空氣 （CDA）

產(chǎn)品規(guī)格材料 膜： 疏水性含氟聚合物 PTFE   支架、外殼： PFA 系列  推薦流速 30 slpm 

連接 1/8“、1/4" 壓縮密封  膜面積 12 厘米2（1.9 英寸2)  

顆粒截留 >99.99999999% 去除所有直徑大于 0.0015 μm 的顆粒（在具穿透性的顆粒尺寸下驗(yàn)證） 

工作條件 最大工作壓力： 20°C 時(shí)為 0.41 MPa（4.1 bar，56.6 psid）

 最大正向壓差： 20°C 時(shí)為 0.34 MPa（3.4 bar，50.0 psid） 

最大反向壓差： 20°C 時(shí)為 0.03 MPa（0.3 bar，4.35 psid）  最高工作溫度： 50°C （122°F） 

尺寸 長(zhǎng)度： 1/8“ 密封件：69 毫米（2.7 英寸） 1/4 英寸密封件：71.5 毫米（2.8 英寸） 

直徑： 21.5 毫米（0.85 英寸）