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北崎國際貿易(北京)有限公司
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當前位置:北崎國際貿易(北京)有限公司>>ULVAC愛發科>> GR60ULVAC愛發科 多級羅茨型干泵

ULVAC愛發科 多級羅茨型干泵

參   考   價: 54300

訂  貨  量: ≥1 件

具體成交價以合同協議為準

產品型號GR60

品       牌ULVAC/日本愛發科

廠商性質經銷商

所  在  地北京市

更新時間:2025-05-29 08:09:18瀏覽次數:129次

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泵軸位置 其他 抽氣量 看參數
抽氣速率 看參數l/s 電壓 看參數V
功率 看參數kW 極限壓力 看參數pa
流量 看參數m3/h 排出口徑 看參數mm
輸送介質 其他 外形尺寸 看參數
揚程 看參數m 葉輪數目 其他
應用領域 化工,電子/電池,航空航天,電氣,綜合 重量 看參數kg
最大工作壓強 看參數
ULVAC愛發科 多級羅茨型干泵 GR60,通過高溫領域的泵體均熱化,實現將CVD、蝕刻等工藝中產生的升化性排氣物質以氣體狀態排出的一款泵。

ULVAC愛發科 多級羅茨型干泵 GR60

ULVAC愛發科 多級羅茨型干泵 GR60

干泵"Model:GR"是以獲得良好業績和信賴的"Model:LR/HR"為基礎設計的,面向一般產業設計的簡單結構的泵。

特點

  • 可應用于大氣真空間反復抽氣的高負荷領域,可在高負荷下持續使用。

  • 適用load lock室(裝載/卸載室),可實現高吞吐量。

  • 感應電機可通用

  • 可以安裝防爆電機等特殊電機(可選)

  • 采用多電壓兼容電機

用途

  • 空氣、惰性氣體等潔凈氣體的真空排氣

  • 各種成膜設備放入取出室的真空排氣

  • 真空干燥,真空氣體置換和真空脫泡等一般產業

  • 真空氣體置換,如真空熱隔絕和氣體填充

規格

型號GR60AGR90AGR180A
最大排氣速度50Hzm3/h(L/min)62(1030)112(1860)183(3100)
60Hzm3/h(L/min)80(1333)126(2100)237(3850)
極限壓力 *1Pa5.0
最大排氣壓力(吸入圧力)大氣壓
最大排氣口壓力(排出圧力)Pa1.0 ~ 大氣壓
吸氣口VG50VG80
排氣口NW40
DRP表面處理
電機輸出 [kW]2.23.77.5
電壓 [V]50Hz200~240/380~415
60Hz200~240/380~460
質量kg128188268
冷卻方式冷卻水
一次供給壓力
MPa0.1~0.3
冷卻水
出入口壓差
MPa>0.1
冷卻水溫度10~30 *2
冷卻水流量L/min>5.0
氮氣一次側
供給圧力
MPa0.1~0.5
二次側
調整圧力 *3
MPa0.05 to 0.1 (運作時)
SLM5.0 *4

*1 極限壓力是氮氣(軸封氣體)為5.0 SLM時的值。
*2 不結露。
*3 通過調節器調節壓力計值。
*4 氮氣(軸封氣體)的流量固定為5.0SLM。



配件

型號材質表面處理重量(kg)法蘭接口GR60AGR90AGR180A
消音器RS-01+
套件A
SUS304GBB處理4.1KF40-
RS-01+
套件C
SUS304GBB處理8.3KF40--



排氣速度曲線

ULVAC愛發科 多級羅茨型干泵




尺寸圖

  • GR60ULVAC愛發科 多級羅茨型干泵

  • GR90AULVAC愛發科 多級羅茨型干泵

  • GR180ULVAC愛發科 多級羅茨型干泵




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