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當(dāng)前位置：北崎國(guó)際貿(mào)易（北京）有限公司>>日本EBARA荏原>> EV-X300N日本EBARA荏原 干式真空泵
產(chǎn)品型號(hào)EV-X300N
品 牌EBARA/荏原
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地北京市
更新時(shí)間：2025-05-28 13:54:04瀏覽次數(shù)：245次
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品類型 | 無(wú)油泵 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 1萬(wàn)-2萬(wàn) | 儀器種類 | 真空泵 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子/電池,航空航天,電氣,綜合 |
日本EBARA荏原 干式真空泵 EV-X300N
日本EBARA荏原 干式真空泵 EV-X300N
作為中等負(fù)荷工藝專用的干式真空泵，搭載荏原有的節(jié)能技術(shù)，采用面向自動(dòng)化工廠制造的優(yōu)化模塊設(shè)計(jì)，并進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)了小型化和節(jié)能化。
通過(guò)大范圍的溫度控制，擴(kuò)大了適用工藝范圍。因同一機(jī)型能夠覆蓋多種工藝，能夠優(yōu)化備用設(shè)備的庫(kù)存，減少用于維護(hù)和培訓(xùn)的人力時(shí)間，并且能夠靈活應(yīng)對(duì)未來(lái)的工藝擴(kuò)展。此外，在所有工藝中實(shí)施最佳的溫度控制，從而實(shí)現(xiàn)工藝耐受性的提高，并且通過(guò)延長(zhǎng)部件的更換周期，幫助減少TCoO。
應(yīng)對(duì)的應(yīng)用例：各種蝕刻和CVD、灰化、離子植入、外延生長(zhǎng)等。
產(chǎn)品規(guī)格
| 型式 | EV-X100N | EV-X200N | EV-X300N |
|---|---|---|---|
| 最大處理風(fēng)量(L/min) | 10,000 | 20,000 | 30,000 |
| 到達(dá)壓力(Pa) | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
| 電源規(guī)格 | 3相200-220V (50/60Hz) | 3相200-220V (50/60Hz) | 3相200-220V (50/60Hz) |
| 到達(dá)底壓時(shí)消耗電力(kW)* | 0.9 | 1 | 1.5 |
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