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它由真空泵FV-W和真空鑷子C007組成。
●無需設置單獨的泵進行吸入和排出,而是在一個系統中兼用,因此可以實現緊湊的機身。
●由于該結構將吸入和排出兩個回路連接到一個組合連接器(雙管),因此只需一根管子即可吸入和排出。
FLUORO吸嘴/吸盤的核心優勢
材質特性
氟樹脂(PTFE/PFA):超低摩擦系數、耐化學腐蝕(抗酸堿、溶劑)、防靜電,避免污染敏感材料(如晶圓)。
高純度:無析出物,適合潔凈室環境(Class 100~1000)。
精密適配
專為 超薄玻璃(0.1~1.0mm)、小尺寸晶圓(2~12英寸) 設計,吸附面平整度高,避免應力集中導致破裂。
可選 多孔設計 或 獨立氣路,均勻分散吸附力,減少局部壓力。
定制化選項
形狀:圓形、方形、條形等,適配不同設備(如貼片機、檢測儀)。
尺寸:吸嘴直徑可小至幾毫米,滿足微米級精度需求。
典型應用場景
半導體制造:晶圓(Wafer)搬運、切割后的芯片分選。
顯示面板:LCD/OLED玻璃基板、Cover Glass的真空吸附。
精密電子:攝像頭模組、光學鏡片、陶瓷基板的無痕抓取。
選型建議
接觸面材質:
若需更高防粘性,可選 PFA涂層;若強調耐磨性,可用 填充碳纖維的PTFE。
真空系統匹配:
需根據工件重量和吸附面積計算真空度(通常-50~-90kPa)。
環境要求:
高溫環境需確認耐溫范圍(標準PTFE耐約260℃)。
注意事項
避免尖銳物體劃傷吸盤表面,定期清潔以維持吸附力。