ULVAC愛發(fā)科油回轉(zhuǎn)真空泵 高功能規(guī)格

兩級(jí)排氣系統(tǒng)與單級(jí)排氣系統(tǒng)相比具有更低的壓力（良好的真空）。

低噪音低震動(dòng)。

安裝了防回流機(jī)構(gòu)，在因停電而停止時(shí)，可以防止油流回真空室。

安裝了強(qiáng)制供油機(jī)構(gòu)，排氣速度穩(wěn)定。

大氣壓下可運(yùn)作。

通過內(nèi)部零件上的定位銷，連接法蘭部件更容易。

應(yīng)用

化學(xué)，科學(xué)實(shí)驗(yàn)，分析儀和激光系統(tǒng)。

用于電子顯微鏡的背泵。

半導(dǎo)體設(shè)備，濺射設(shè)備，真空蒸發(fā)設(shè)備。

真空干燥機(jī)，冷凍干燥機(jī)。

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