Edwards nXDS 系列干式渦旋泵端部密封套件在需要進行小型改造服務時使用。這通常需要在泵投入使用 2 年后進行，通常需要 12,000 至 16,000 個運行小時。隨著頂部密封件磨損，泵將開始失去達到JI限壓力的能力。當對良好、干凈、防漏的真空室進行抽真空時，新 nXDS 泵的基本壓力通常測量為 10 mTorr 或更低。如果您發現基礎壓力現在僅達到 25 mTorr，則可能需要更換頂部密封件。

適用于 Edwards nXDs 系列干式渦旋真空泵

• 愛德華茲 nXDS6i

• 愛德華茲 nXDS10i

• 愛德華茲 nXDS15i

• 愛德華茲 nXDS20i

• 愛德華茲 nXDS6ic

• 愛德華茲 nXDS10ic

• 愛德華茲 nXDS15ic

• 愛德華茲 nXDS20ic

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