XRF(X熒光光光譜儀)探測器是用來接收X射線并把它轉變成可測量的或可觀察的量。現在探測器有流氣式正比計數器、封閉式正比計數器、閃爍計數器以及應用于X射線熒光能譜分析上的半導體探測器。
(1)流氣式正比計數器。它主要用來探測波長在0.2~1.5nm的X射線，通常用厚2~6μm，并喯鍍鋁的聚酯膜作窗口材料，充有90%氬和10%甲烷的混合氣體。由于窗口如此薄，探測器很容易漏氣，故需不斷補充新鮮氣體，氣體的流量一般為1.6~3.2L/min。近年來，為了探測超軟X射線(波長達1~10nm)，窗口常采用1μm的聚丙烯或聚碳酸酯薄膜，甲烷的含量可高達100%或用氦氣。流氣式正比計數器的能量分辨率僅次于半導體探測器，對FeKaⅠ線的分辨率均為10%~20%，是閃爍計數器的2~3倍。它的計數分辨時間與閃爍計數器相仿，適用于高達105~106cps（即脈沖/s）的計數。充氬或充氪的正比計數器有較大的逸出峰。當流氣式正比計數器的窗薄破損或陽極絲沾污時可進行更換或清洗。
(2)封閉式正比計數器。根據填充的氣體氦、氖、氬、氪、氙不同，可探測波長在0.03~0.4nm的X射線。
(3)閃爍計數器。它主要用來探測波長在0.01~0.3nm的X射線，可記錄高達106~107cps的計數。它是由一塊用激活的密封于鈹窗內的碘化鈉(NaⅠ(T1))晶體和一個光電倍增管所組成。它對高能量的X射線具有比較吸收能力，而對6keV以下的低能量X射線探測效率較差。這正好同流氣式正比計數器的探測效率形成互補。為此，目前有些儀器廠商在閃爍計數器前面串聯一個流氣式正比計數器，低能量的軟X射線主要被流氣式正比計數器接收，而未接收的能量較高的硬X射線被閃爍計數器接收。這種串聯裝置可有效地提高測定鉻至銅之間元素的計數強度。
(4)鋰漂移硅和鋰漂移鍺探測器[記作Si(Li)和Ge(Li)半導體探測器]。其優點是有分辨率，良好的線性響應，壽命長和工作性能穩定等。它在常溫下的噪聲可達幾十電子伏特以上。當用于X射線測量時，它必須在液氮保護下進行低溫操作。因此在應用上受到了限制。
(5)Si-Pin探測器和SDD探測器,最近幾年工業化的新技術,具有高分辨率,高穩定性,幾年甚至幾十年都可以長期穩定的使用,無需外部制冷和充氣.
