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當前位置：湖南中崎科技有限公司>>作業工具>>ULVAC愛發科>> CGM2-051/ CGM2-052ULVAC愛發科氣體監測儀

ULVAC愛發科氣體監測儀

參   考   價: ￥ 4700

訂  貨  量: ≥1 個

具體成交價以合同協議為準

產品型號CGM2-051/ CGM2-052

品       牌ULVAC/日本愛發科

廠商性質經銷商

所  在  地長沙市

更新時間：2024-12-03 10:15:18瀏覽次數：894次

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作業工具
德國MAXION MARPOSS馬波斯 WAGNER瓦格納 NACHI不二越 KAKUHUNTER寫真化學 德國DI-SORIC 日本TASETO 日本NPK SUZUKI鈴木 MASUDA增田 KYORITSU KIKO共立機巧 ASAHI旭精工 日本LUBE 中國臺灣寶工 NIPPONMUKI無機 日本S-VANS 日本ANELVA ASADA淺田 日本理化學 日本VENN IZUMI泉精器 日本IKK SEKISUI積水 日本MEG ATEC愛泰克 中國臺灣TOYO DU-PAS杜派 TOHNICHI東日 SANWA三和 FUSOSEIKI扶桑精機 OGURA小倉 JEOL日本電子 NICHIBAN米其邦 SAKURA CRAYPAS櫻花 日本ELEPON 日本FINTECH SHOWADENKI昭和電機 NICHIBEI日米 IZUMI DENNETSU泉電熱 SERIC索萊克 TONE前田 SANAI三愛 SAKAZUME坂詰 RSK新瀉理研 日本KIMDEN 日本J-SCOPE 日本EMT EMP株式會社 CHUKOH中興化成 GPG臺邦 TOKU東空 SUMITOMO住友 MAGNESCALE索尼 NIDEC COPAL科寶 PIKAL磨料工業 OKAZAKI岡崎 KITAGAWA光明理化學 日本JUST FUJIFILM富士 DELVO達威 BUFFALO巴法洛 JST日壓 CONVUM妙德 藏持科學器械制作所 HOZAN寶山 KOWA-KASEI興和化成 KYORITSU共立理化學 日本WASHINOKIKI 日本JRM KEIHIN京浜工業所 KAKUTA角田 KITZ開滋 EXCEL艾庫斯 SIGMAKOKI西格瑪光機 SAKAGUCHI坂口電熱 NIKKATO日陶 日本SMT 日本ASK TSUBAKI椿本 日本SCS AITEC艾泰克 NTTATCR創意株式會社 NIREI仁禮工業 NIKON尼康 OPTEX奧普士 KOSHIN工進 ORC歐阿希 ULVAC愛發科 IWAKI易威奇 SEM坂本電機 USHIO牛尾 EYE巖崎 CCS晰寫速 SEN日森 NBK鍋屋 HAKKO白光 日本UECO DAICO大浩研熱
產地類別 進口 應用領域 環保,化工,電子/電池,綜合
ULVAC愛發科氣體監測儀
新型工藝氣體分析儀(RGA)，實現了高壓下(1Pa以下)的高精度、高分辨率以及革命性的簡單易操作性。來自不同生產線的設備工程師的反饋被納入產品的設計中，濺射設備的工藝管理（提高品質、提高良率）。

ULVAC愛發科氣體監測儀


特點

  • 適用于各種濺射系統的工藝監控

  • Air Leak監控

  • 殘留水分管理

  • 無需差動排氣系統（less than 1 Pa at 7.5 x 10-3Torr/1 x 10-2 mbar）

  • 內置顯示屏：無需PC可單獨操作使用

  • 可進行高靈敏度泄漏測試（CGM2-052）

  • 可進行全壓測定

  • 操作簡單-One Click功能

  • 標配Qulee QCS軟件

  • 支持CE標準

用途

  • 適用于濺射設備的殘余氣體分析、工藝監控和雜質管理(H2O)。

  • 用于濺射設備的泄漏測試。

ULVAC愛發科氣體監測儀

CGM-051/CGM2-101/CGM-052/CGM2-102

規格

分解能

M/△M=1M(10% P.H.)

型號CGM-051CGM2-101CGM-052CGM2-102
質量分離方式四極型質量分析儀
質量數范圍1～50 amu1～100 amu1～50 amu1～100 amu
檢出器法拉第杯二級電子倍增管／法拉第杯
感度0.1uA/Pa0.1mA/Pa
最小檢知分圧1x10-7Pa1x10-10Pa
最大使用圧力2Pa2Pa(FC)1x10-2Pa(SEM)
線性1Pa
全壓力測量功能有
Degas functionElectron bombard type 300V, 5mA
一鍵檢漏功能有 / He / H2O / N2 / O2 / Any gas
電源電壓DC24V±10％　50W
最大烘烤可能溫度
(傳感器單元連接時)		120℃
最大烘烤可能溫度
(傳感器單元移除時)		250℃
使用溫度范圍10～40℃
接口Ethernet
軟件Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows 8/10/11）適用
符合標準CE


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