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一、超純水拋光樹(shù)脂UP6040參數(shù)：

陽(yáng)樹(shù)脂H+ 陰樹(shù)脂OH-

含濕量，% 44.0-51.0 54.0-60.0

總交換容量，eq/L 32.00 31.10

均一系數(shù)￡1.20 ￡1.20

H型，%含量399 -

OH型，%含量- 395.0

Cl型，%含量- ￡0.5

CO3型，%含量- ￡5.0

SO4型，%含量- ￡0.1

二、超純水拋光樹(shù)脂UP6040樹(shù)脂特性：

在不再生的終端精制應(yīng)用上，超純水的質(zhì)量是遠(yuǎn)較樹(shù)脂的基特性來(lái)的重要，但暸解所使用的樹(shù)脂特性以

得到最佳的效能及最長(zhǎng)使用壽命仍然是不可忽視的。AMBERJET UP6040的主要樹(shù)脂特性如下表所示 ，這些

數(shù)據(jù)顯示了組成AMBERJET UP6040的陽(yáng)陰樹(shù)脂特性，而這些特性賦予AMBERJET UP6040高交換容量、均一

顆粒大小等的嚴(yán)格樹(shù)脂標(biāo)準(zhǔn)。

三、UP6040拋光樹(shù)脂應(yīng)用及特性：

在半導(dǎo)體廠內(nèi)的超純水處理系統(tǒng)是一龐大的，復(fù)雜的系統(tǒng)，并包含了許多不同的單元，而整個(gè)系統(tǒng)的功能及設(shè)計(jì)主要是為了得到的超純水。雖然沒(méi)有任何單一的單元可以確保最終的采水水質(zhì)，但是終端精制混床是超純水在接觸到半導(dǎo)體芯片前的最后一道化學(xué)精制的處理程序，其重要性是不可忽視的。不像對(duì)化學(xué)物質(zhì)呈惰性的管路及過(guò)濾材料，離子交換樹(shù)脂是帶化學(xué)性反應(yīng)的聚合物，所有的待處理水會(huì)*的通過(guò)樹(shù)脂，因此精制混床樹(shù)脂是除去微量化學(xué)污染物質(zhì)的最后一道防線。除此之外，這些樹(shù)脂絕不能釋出任何物質(zhì)，進(jìn)而污染到不能間斷的超純水供水系統(tǒng)。因?yàn)檫@些嚴(yán)格的條件，終端精制混床樹(shù)脂必須是最高的品質(zhì)，且同時(shí)必須是準(zhǔn)確的被使用的。