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PCE-3等離子清洗機(jī)
  • PCE-3等離子清洗機(jī)
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貨物所在地:遼寧沈陽市

更新時間:2025-04-21 16:22:27

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PCE-3等離子清洗機(jī)使用空氣、氧氣、氬氣等離子去除納米級有機(jī)物污染,在射頻電源的作用下,Z大去除速率為10nm/min。在單晶材料外延薄膜生長以前對其進(jìn)行預(yù)處理,將對生長具有顯著的作用。

產(chǎn)品型號

   PCE-3等離子清洗機(jī)

主要特點(diǎn)

   1使用可調(diào)射頻電源, 可以設(shè)置低、中、高功率。

   2桌上型設(shè)備,結(jié)構(gòu)緊湊、操作安全、環(huán)境友好低成本

技術(shù)參數(shù)

   1輸入電壓:110V/220V50Hz/60Hz (請?zhí)崆斑x定),小于100W

   2、輸出功率:13.56MHz

   3等離子直流電源:低功率設(shè)定—680V10mA6.8W;中功率設(shè)定—700V15mA10.5W

                                  高功率設(shè)定—720V25mA18W

   4、等離子腔室:Φ75mm×165mm,耐熱玻璃,前蓋可拆卸

   5通入氣體:可通入多種氣體,如N2Ar、空氣、混合氣體等,主要根據(jù)處理材料性質(zhì)所定

   6真空泵和閥的要求:>160L/min,極限壓力200mtorr0.27mbar),可選擇數(shù)字真空表,針閥控制

                                           氣體流量,采用三通閥門快速控制進(jìn)氣、密封等離子腔室、排氣

清洗及蝕刻

 

產(chǎn)品規(guī)格

 尺寸:200mm×250mm×210mm;重量:8kg(不含泵)

注意事項(xiàng)

 不能使用可燃性氣體

可選配件

 本司研發(fā)的電阻真空計

 以Pirani電阻規(guī)在不同真空環(huán)境下提現(xiàn)的熱傳導(dǎo)性為原理而研發(fā)的一款低真空測量儀器,特別適應(yīng)于

    從常壓到0.1Pa非腐蝕性氣體環(huán)境的真空測量。

 


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