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微型PECVD系統
  • 微型PECVD系統
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貨物所在地:遼寧沈陽市

更新時間:2025-03-18 11:11:14

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微型PECVD系統采用Φ 3“ × 16“ 的石英腔體,內部設有加熱圈對樣品進行加熱,Z高溫度可以達到400℃,且采用程序化控溫,系統還配有2通道混氣裝置和雙旋機械泵,整套系統安放于移動架上,便于實驗操作。本系統系對于薄膜生長和納米線的制作是Z佳的選擇。

 

產品型號

  微型PECVD系統

主要特點

  1、加熱圈套有石英罩,以減小熱量損失。

  2、樣品可置于加圈內,以達到更好的加熱效率和溫度均勻性。

  3、采用PID方式調節溫度,可設置30段升降溫程序。

  4、設有一滑動法蘭安裝于移動加上,以便于樣品的放入和取出。

  5、已通過CE認證。

技術參數

  等離子源

  1、等離子體射頻電源:110/220V  50/60Hz  <100W

  2、輸出頻率:13.56MHz

  3、射頻功率:7.2W10.5W18W三檔,可調節

  4、腔體尺寸:外徑Φ76.2mm×內徑Φ68.58mm×長406.4mm

  5加熱圈:電源220V,zui大功率500W外徑Φ50mm×內徑Φ40mm×70mm,并套有內徑Φ50.8mm×

                        Φ75mm的石英罩

  6法蘭Φ3″不銹鋼法蘭,設有KF-25真空泵接口、1/4″卡套接頭、不銹鋼針閥

  7通入氣體:可通入多種惰性氣體,如N2Ar,不可通入易燃易爆性氣體

  8真空度:10-2torr(機械泵)

  兩通道混氣系統

  1浮子流量計:10-100ml/min2

  2、針閥:304不銹鋼針閥,3

  3壓力表:-0.1-1.0MPa0.01MPa/grid),3

  真空泵

  1、抽氣速率:120L/min

  2、接口:KF-25

產品規格

  1尺寸:等離子源216mm×254mm×203mm,控制盒102mm×254mm×203mm,兩通道混氣系統340mm×

                   300mm×180mm,移動架600mm×600mm×1250mm

  2、重量:32kg

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