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表面光電壓法的基本原理?12

表面光電壓法（Surface Photovoltage Method，簡稱SPV法）是通過測量由于光照在半導(dǎo)體材料表面產(chǎn)生的表面電壓來獲得少數(shù)載流子擴散長度的方法。其原理是：用能量大于半導(dǎo)體材料禁帶寬度的單色光照射在半導(dǎo)體材料表面，在其內(nèi)部產(chǎn)生電子-空穴對，受濃度梯度驅(qū)動擴散至半導(dǎo)體材料近表面空間電荷區(qū)的電子和空穴將被自建電場分離，形成光生電壓，即表面光電壓

表面光電壓法的應(yīng)用和優(yōu)勢

SPV法是表征半導(dǎo)體材料少子擴散長度的主要方法，具有以下優(yōu)點：

• 是一種穩(wěn)態(tài)方法，與時間無關(guān)，避免了體內(nèi)和表面復(fù)合對測試結(jié)果的影響。

• 一般情況下，表面復(fù)合過程不影響少子擴散長度的測試結(jié)果，表面復(fù)合速率只對表面光電壓信號強度產(chǎn)生影響，因此無須特殊處理材料的表面。

• 是一種無接觸的測試方法，測試成本低、易于操作、不容易受到干擾，并且可以實施面掃描（mapping）。