激光三維表面輪廓儀對材料表面三維輪廓測量、粗糙度測量、寬度、高度、角度、半徑、粗糙度等二維及三維數據分析，無需拼接即可直接測量大面積樣品。利用光的干涉，可以快速、準確、高度檢測1nm~10mm高度模型的曲面想象。與接觸方式相比，不會對被測物造成任何損壞。與共焦模式相比，高分辨率的力無關放大倍率可以得到統一的結果。與AFM相比，它可以在廣泛的測量領域中快速測量。
激光三維表面輪廓儀中央組件掃描模塊（x/y方向樣??品掃描）可以與不同的傳感器（z方向測量）一起使用。目前主要配置是連接CF4激光共焦傳感器。在CF4激光共焦傳感器中，被照射的孔在被測表面上成像，激光束通過物鏡快速上下移動，聚焦到被測物體上。只有當焦平面與真實表面上的點配對時，探測器才會記錄表面信號。因此，物鏡必須移動一個小的垂直步距，以便通過位移傳感器的位置移動來測量信號。根據特殊的插值技術，系統的精度可以達到10nm以下。
1、高分辨率0.1nm。
2、在任何放大倍率下，分辨率都是統一的。
3、測量納米級。
4、測量高速、高精度、高分辨率的性能圖像。
5、可測量透明/半透明/不透明樣品。
6、無需無損，可輕松測量預處理程序。
6、出色的重復性、準確性和再現性。
激光三維表面輪廓儀集圖像采集、圖像處理和網絡通訊于一體。它使用超高速處理器來收集和處理數字信號。內置高動態范圍CMOS傳感器，可準確識別具有明暗差異的物體。它采用405nm藍色激光，大大提高了測量精度，配備一套圖形化軟件開發平臺和多種常用檢測流程包，大大降低了客戶的使用門檻。
