熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)是利用熱擴(kuò)散原理測(cè)量氣體流量的儀表。傳感器由兩個(gè)基準(zhǔn)級(jí)熱電阻(RTD)組成。一個(gè)是速度傳感器RH，一個(gè)是測(cè)量氣體溫度變化的溫度傳感器RMG。當(dāng)這兩個(gè)RTD置于被測(cè)氣體中時(shí)，其中傳感器RH被加熱，另一個(gè)傳感器RMG用于感應(yīng)被測(cè)氣體溫度。隨著氣體流速的增加，氣流帶走更多熱量，傳感器RH的溫度下降。根據(jù)熱效應(yīng)的金氏定律,加熱功率P、溫度差△T(TRH-TRMG)與質(zhì)量流量Q有確定的數(shù)學(xué)關(guān)系式。P/△T=K1+K2f(Q)K3K1、K2、K3是與氣體物理性質(zhì)有關(guān)的常數(shù)。熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)*的溫度差測(cè)量方式克服了采用恒溫差原理的熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)測(cè)量煤氣流量時(shí)因煤氣中含水、油和雜質(zhì)而造成的很大的零點(diǎn)漂移，導(dǎo)致無(wú)法測(cè)量的弊端。它也可以用于測(cè)量濕氣體的質(zhì)量流量，如礦井下瓦斯抽放、送風(fēng)，排風(fēng)系統(tǒng)中的風(fēng)量(速)的實(shí)時(shí)檢測(cè)。

熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)具有如下技術(shù)優(yōu)勢(shì)：1.真正的質(zhì)量流量計(jì)，對(duì)氣體流量測(cè)量無(wú)需溫度和壓力補(bǔ)償，測(cè)量方便、準(zhǔn)確。可得到氣體的質(zhì)量流量或者標(biāo)準(zhǔn)體積流量。2.寬量程比，可測(cè)量流速高至100Nm/s底至0.5Nm/s的氣體，可以用于氣體檢漏。3.抗震性能好使用壽命長(zhǎng)。傳感器無(wú)活動(dòng)部件和壓力傳感部件，不受震動(dòng)對(duì)測(cè)量精度的影響。4.安裝維修簡(jiǎn)便。在現(xiàn)場(chǎng)條件允許的情況下，可以實(shí)現(xiàn)不停產(chǎn)安裝和維護(hù)。（請(qǐng)參見(jiàn)安全注意事項(xiàng)）5.數(shù)字化設(shè)計(jì)。整體數(shù)字化電路測(cè)量，測(cè)量準(zhǔn)確、維修方便。6.采用RS-485通訊，或HART通訊，可以實(shí)現(xiàn)工廠(chǎng)自動(dòng)化、集成化。熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)應(yīng)用在熔劑回收系統(tǒng)氣體流量測(cè)量。