5當前位置：>>深圳市中圖儀器股份有限公司>>視頻展示>>中圖儀器全自動晶圓檢測機輕松測量wafer套刻偏移量
有圖晶圓關鍵尺寸及套刻量測系統可對Wafer的關鍵尺寸進行檢測，對套刻偏移量的測量，以及Wafer表面3D形貌、粗糙度的測量，包括鐳射切割的槽寬、槽深等自動測量。
300*300mm真空吸附平臺，最大可支持12寸Wafer的自動測量，配置掃描槍，可實現產線的全自動化生產需求。
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有圖晶圓關鍵尺寸及套刻量測系統可對Wafer的關鍵尺寸進行檢測，對套刻偏移量的測量，以及Wafer表面3D形貌、粗糙度的測量，包括鐳射切割的槽寬、槽深等自動測量。
300*300mm真空吸附平臺，最大可支持12寸Wafer的自動測量，配置掃描槍，可實現產線的全自動化生產需求。
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