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技術文章

我司銷售的旋轉涂層裝置(HO-TH-05)

閱讀:146          發布時間:2024-12-16

Holmarc 的旋涂機(型號:HO-TH-05)是一種專用的臺式系統,用于在研究實驗室中對小型基底進行旋涂,旋涂過程參數控制良好。高速和持續時間范圍允許用戶獲得所需的薄膜厚度或薄度。旋涂頭執行器采用精密的直流伺服電機,維護量少,速度和加速度控制精確。由無油真空泵驅動的真空吸盤將基底固定在旋轉頭上。

該設備的用戶友好型前面板配有鍵盤和液晶顯示屏,可對旋轉過程進行編程。旋轉持續時間、旋轉速度、加速度等參數均可通過前面板進行編程。由于程序存儲器是非易失性的,因此在斷電的情況下記錄的參數也不會丟失。該機型配備了 9 個可編輯的預設程序存儲器,每個程序有 9 個步驟。

功能

卡盤直徑:14 毫米、22 毫米、36 毫米(O 形圈外徑)

工作腔上的透明安全蓋

非易失性程序存儲器

用戶友好型設計

背板電源開關

用于惰性氣體吹掃的入口和出口,6 毫米管道

                                                                                                       規格

用戶界面:24 x 4 行字母數字 LCD 和 16 按鈕鍵盤

    執行器:無刷直流伺服電機

    程序存儲器:9 個程序,每個程序有 9 個步驟

    速度曲線:速度、持續時間和加速度

    旋轉速度:60 - 9999 RPM

    速度分辨率:1 RPM

    速度精度:+/- 1

    加速/減速:10 - 2000 rpm/s(可通過輸入加速度間接設置斜坡和停留時間)

    持續時間:每步 1 - 99 秒/分/小時

    樣品卡盤:3 個(25 毫米、32 毫米和 45 毫米)

    最大樣品直徑:100 毫米

    最小樣品直徑:13 毫米

    樣品碗材料:聚丙烯

    碗尺寸:8 英寸

    帶樣品分配口的透明蓋

    排水軟管

    安全聯鎖裝置,防止碗打開時旋轉

    樣品架 :    帶硅橡膠 O 型環的 PTFE 盤

    樣品安裝:真空固定

    真空連接器:8 毫米直徑卡入式軟管連接器

    N2 吹掃接頭

    真空泵開/關和釋放開關

    尺寸(毫米) :    400(長)x 275(寬)x 350(高)

    交流電輸入:230 伏

    最大功耗:260 瓦(帶真空泵)

應用范圍

    旋涂技術在有機電子、納米技術、半導體工業和其他工業領域無處不在。

    旋轉涂層廣泛應用于使用溶膠-凝膠前驅體在玻璃或單晶基底上微細制造功能氧化物層,可用于制造納米級厚度的均勻薄膜。在光刻技術中,它被廣泛用于沉積厚度約為 1 微米的光刻膠層。

可選配件

數字移液器,用于向基底分配液體

支架用于固定手動移液器

真空適配器,用于固定直徑從 30 毫米到 100 毫米不等的培養皿

機械夾或鎖,用于在不抽真空的情況下固定樣品

旋轉鍍膜是在平面基底上沉積均勻薄膜的技術之一。它廣泛應用于各種行業和技術領域。旋涂技術的優勢在于能夠快速、輕松地生產出厚度從幾納米到幾微米不等的非常均勻的薄膜。

在這項技術中,在低速旋轉或不旋轉的基底中心涂上少量涂層材料。然后基底高速旋轉,通過離心力使涂層材料擴散。在流體從基底邊緣脫落的同時繼續旋轉,直到達到所需的涂膜厚度。涂抹的溶劑通常具有揮發性,會同時蒸發。因此,旋轉的角速度越高,薄膜就越薄。薄膜的厚度還取決于溶液和溶劑的粘度和濃度。


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