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技術文章

可變角度激光橢偏儀(HO-VALE-01)

閱讀:153          發布時間:2024-11-27

橢偏儀是一種非常靈敏的光學技術,為薄膜計量提供能力。橢偏儀利用光的相位信息和偏振態,因此可以達到埃級分辨率。橢偏儀的

主要優點是非破壞性、靈敏度高和測量范圍寬。通過這種技術可以精確測量薄膜的厚度和折射率等光學參數。

在型號為 HO-VALE-01 的橢偏儀中,一束圓偏振光入射到測試基底上,然后對線性偏振的反射光進行偏振變化分析。

該儀器由兩個同心旋轉臂組成,圍繞著一個固定在重型底座上的精確刻度圓盤。一個臂上裝有激光源,另一個臂上裝有探測器組件。刻度盤的刻度

為 1°,分辨率為 0.1°。激光源和探測器的電源分開放置。偏振鏡、分析儀和四分之一波板固定在光路中的精密旋轉平臺上,刻度范圍為 0 - 360°

,分辨率為 0.1°。偏振鏡和分析儀均使用格蘭-湯普森棱鏡。



樣品放置在精密測微計驅動的垂直平臺上,高度調節范圍為 10 毫米,分辨率為 0.01 毫米。激光源的入射角可在 30° 和 90° 之間調節。對于空點

法,如果需要,可以用微型屏幕代替探測器,以便目測空點。

如圖所示,隨機偏振激光(532nm)通過偏振器,偏振器將偏振光從隨機偏振變為線性偏振。然后,線性偏振光通過四分之一波板(將快速軸設

置為 45 度),使偏振狀態從線性偏振變為圓形偏振。經過樣品薄膜的反射,圓偏振光變為線性偏振光,分析儀測量偏振程度




測量范圍



測量范圍:1 納米 ~ 300 納米


入射角度:30° ~ 90°,



旋轉范圍


偏振器:0° ~ 360


四分之一波:0° ~ 360


分辨率:0.1 度


激光器:DPSS(532nm,5mW)



激光臂


旋轉范圍:70 度(從水平面開始)


主刻度分度:1 度


分辨率:0.1 度


探測器


類型:硅光電二極管   硅光電二極管


有效面積:5.8 x 5.8 毫米



探測器臂


旋轉范圍:70 度(從水平面算起)


主刻度分度:1 度


分辨率:0.1 度



樣品架


高度調節范圍:10 毫米


驅動分辨率:10 微米


傾斜范圍:+/- 2 度




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