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技術文章

菲佐干涉儀帶編碼器導軌系統(HO-OFIZ-216A)

閱讀:82          發布時間:2024-11-21

菲佐干涉儀是干涉儀之一,常用于平面和球面的常規測量。它可用于測量平面、棱鏡、透鏡等光學部件,或軸承、密封面或拋光陶瓷等精密金屬部件。可使用靜態條紋分析軟件進行測量。干涉儀基本上配有高光學質量(λ/20)的基準平面。測試表面的反射與參考平面的反射發生干涉,產生條紋。條紋的形狀和質量取決于測試平面的表面質量。使用高分辨率 CCD 相機對條紋進行數字化處理。

                                                                                            規格

最大樣品尺寸:≤ 100 毫米

參考光學鏡組:可接受 任何標準卡口支架

精度: ≤ λ/20 PV

激光源:DPSS 5.0 mW / 632.8 He-Ne 激光器

光束擴展器帶針孔的 60 倍 顯微鏡物鏡

準直透鏡:焦距 500 毫米,直徑 100 毫米的消色差透鏡

對準 基于相機

攝像頭 1:300 萬像素 CCD,分辨率可選

攝像頭 2:500 萬像素 CCD,分辨率可選

分析:使用 邊緣分析軟件(開放邊緣和快速邊緣)

重量:約 25 千克

電源:220 伏,50 赫茲

平移臺帶光學編碼器的手動 線性平移臺

行程和分辨率行程長度為 1200 毫米,分辨率為 2 微米

編碼器輸出:帶 計算機接口和軟件


光學設置

空間濾波器組件和正消色差透鏡用于擴大和準直氦氖激光。準直透鏡之后是固定的參考平面。光線從參考平面反射回來。在擴束器附近放置一個立方體分光鏡,將反射光反射到變焦鏡頭和 CCD 上。其中一部分反射光落在用于對準模式的相機 1 上。來自測試樣品的反射光也沿著相同的路徑反射并相互干擾。


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