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寶帝邀您共赴Semicon盛會，解鎖半導體應用流體控制新方案
閱讀：337 發布時間：2025-3-19
SEMICON China 2025也已進入開幕倒計時狀態！作為全球半導體產業的年度盛事，今年的SEMICON China又將帶來哪些驚喜呢？今天，寶帝與您一起探索SEMICON China 2025的參觀攻略，為你揭開這場科技盛宴的神秘面紗！
展會將于2025年3月26至28日，在上海新國際博覽中心舉辦，展會將涵蓋半導體制造、封裝測試、設備材料等多個領域，寶帝誠邀您前來交流，一同探索半導體應用中的流體控制技術！
用于刻蝕鍍膜冷卻工藝解決方案
Bürkert 參與的刻蝕鍍膜冷卻環節：反應腔室、E-CHUCK、分子泵/真空泵、射頻電源等。
ESC Cooling
ESC 是刻蝕機中的核心部件，其冷卻系統至關重要，Bürkert 針對該工藝提供解決方案：
通過 2 組Burkert氣動閥的高頻開關控制 Chiller 的高低溫氟化液匯流循環，以實現機臺的調溫目的。
通過2組Burkert電動閥的控制 Chiller 的高低溫氟化液匯流循環，以實現機臺的無極調溫目的。
PCW Cooling
Bürkert 解決方案可用于控制 2-3 路 DI water，各支路數據通過工業以太網網關采集和交換，實現控制、監控和診斷，以實現冷卻水的閉環控制。
測試分選機高效冷卻解決方案
測試分選機在高負荷運行時，發熱問題嚴重影響設備穩定性和使用壽命。Bürkert 冷卻系統解決方案通過工業以太網通訊，實現采集和交換、控制、監控和診斷，提升設備整體性能和效率，確保測試分選機穩定運行。
如果您從事半導體相關行業，關注刻蝕鍍膜冷卻工藝和測試分選機的高效冷卻等半導體相關應用，一定不要錯過寶帝在 Semicon 展會的精彩呈現！
3月26 - 28日，上海新國際博覽中心，寶帝與您不見不散E6-6670，攜手探索半導體領域工藝流程。
屆時寶帝攜手Bürkert系統解決方案及更多Bürkert展品亮相Semi展會敬請期待！