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技術文章

巴魯夫傳感器解決方案丨在載具傳送中實現非接觸式精確定位的理想之選

閱讀:1630          發布時間:2024-7-12


在全球數字化的浪潮中,半導體行業扮演著至關重要的角色。并且隨著5G、物聯網、人工智能等技術的快速發展,對高性能半導體芯片的需求也在日益增長。


在半導體制造過程中,每一個環節都必須達到ji高的精度和可靠性,以滿足日益嚴苛的行業標準。載具傳送作為保障晶圓在生產過程中安全、高效移動的關鍵步驟,其創新和優化對于整個半導體生產具有重要意義。



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巴魯夫為您提供高效且可靠的

載具傳送解決方案

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精確與高效

無論是FOUP和SMIF晶圓傳送盒,巴魯夫支持載具的精確和高效傳送。系統能夠全自動監測AMHS的移動,無論是在短距離的RGV應用還是長距離的OHV應用中,都表現出ji高的可靠性。



非接觸式定位

巴魯夫的非接觸式系統提供了精確的定位能力,確保晶圓能夠安全、可靠地傳送至每個工序,有效避免了擦傷和裂口的問題。



可追溯性

系統還具備強大的可追溯性,能夠實時記錄載具的位置,確保生產過程的透明度和追蹤能力。




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接下來讓我們一起來看看巴魯夫產品在載具傳送環節的具體應用:

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檢測載具是否存在

Balluff Micromote®光學傳感器頭


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如果要檢測裝載埠上是否有載架,巴魯夫的對射型和漫反射型傳感器以其扁平構造巧妙集成于裝載埠,能夠節省空間并進行精準檢測,確保機器只在載具停靠時啟動,優化生產流程。


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產品亮點


1

極為扁平的構造

2

節省空間

3

單獨聚焦





可靠跟蹤載具

BVS視覺傳感器


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為了能夠跟蹤AMHS系統中的載具,您可以為載具配置二維碼。我們的BVS視覺傳感器能夠識讀數據矩陣碼、二維碼和條形碼,從而能夠偵測到輸送載具的每一個動作,確保您隨時掌握輸送載具的動態。

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產品亮點


1

易于集成,操作簡單直觀

2

所有數據均集中存儲調用

3

將大量數據與過程網絡分離,zuui大程度減少了數據負荷




持續檢測AMHS位置

BML磁柵編碼系統


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采用我們的BML磁編碼位置測量系統,您可以實現對輸送車位置的精準監測。這些傳感器可以根據您的特定測量需求進行定制配置,具有高度精確性,確保您的載具順暢且準確地傳送至裝載架。

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產品亮點


1

非接觸式測量原理,即無磨損

2

極其可靠,高度精確

3

用途多樣,磁條最長可達48m,可根據需求裁剪




檢測AMHS終端位置

巴魯夫BES電感式傳感器


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我們為您監測載具輸送車的終端位置提供了眾多選擇。根據您的具體需求,我們的電感式、電容式或光電式傳感器能夠確認AMHS位置是否正確,您的載具是否精確定位在裝載架上。


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產品亮點


1

非接觸式,無磨損

2

技術多樣性,高效應對各種需求


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半導體自動化手巴魯夫

半導體行業的發展過程中,巴魯夫以其前瞻性的技術為您的生產提供堅實支撐。我們致力于提供創新的自動化解決方案,通過集成先進的傳感器、監測技術和智能控制,優化您的生產流程,提升產品質量并降低成本,助力您應對半導體生產過程中的各種挑戰。


同時我們根據您的需求提供定制化的解決方案。無論是提高生產效率、優化資源配置,還是增強生產過程的透明度和可追溯性,巴魯夫都能為您提供全面的支持。攜手巴魯夫,開啟卓、越之旅,立即探索我們的技術,讓創新yin領您的生產。


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