目錄:深圳市達瑞博電子有限公司>>量測>>電子束量測>> S-9260A臨界尺寸掃描電子顯微鏡 （CD SEM）
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 放大倍數(shù) | 500 - 300000x |
|---|---|---|---|
| 加速電壓 | 0.3-1.6kV | 價格區(qū)間 | 700萬-1500萬 |
| 應用領(lǐng)域 | 電子/電池,綜合 |
HITACHI S-9260A
臨界尺寸掃描電子顯微鏡（CD-SEM），8"晶圓形狀：SEMI或JEIDA打開盒式磁帶裝載機單元電子槍：肖特基發(fā)射源加速電壓：300 - 1600 V物鏡：加熱式活動孔徑：4孔可變掃描線圈：2級電磁偏轉(zhuǎn)圖像分辨率：30 A 時為 3 nm，0.8 Kv散光校正：8極電磁線圈放大倍率范圍：500X - 300,000X測量范圍：0.1 - 2.0 um產(chǎn)量：每小時 65 片晶圓光學顯微鏡：1.2 x 1.2 mm 黑白視圖晶圓載物臺XY 范圍：0“- 8"驅(qū)動電機：脈沖電機工作站：HP B2600操作系統(tǒng)： HP-UX 10.20軟件版本 18.35主持人：18.35SEM：18.35IPS的：18.35（4500）IPS_V： 18.35貴賓：07.21.X1階段： 02.05疏散： 02.05高功率：04.02WT：塔茲莫，IC1：05.13L;港鐵-DA1-E：05.08CD重復性模式：0.24,3Sigma：0.761模式：0.48,3Sigma：0.93模式：0.72,3Sigma：0.77模式：0.96,3Sigma：0.85一個圖案晶圓的CD測量，3Sigma：1.22電源顯示冷水機：W5010T（2） Edwards 干泵：負載鎖和試樣室
2
化工儀器網(wǎng)