真空鍍膜機想來來大家都存有疑惑，今天來討論的是關于真空鍍膜設備真空室的設計問題，要是您有興趣了解的話可以一起來看看下面的內容。

真空鍍膜技術是在真空條件下采用物理或者化學方法，使物體表面獲取所需膜體，真空鍍膜技術根據其采用方法的不同科分成蒸發鍍、濺射鍍、離子鍍、束流沉積以及分子束外延等，這次分析的鍍膜設備采用的是磁控濺射鍍膜。

真空室是真空鍍膜機的主要部件之一。鍍膜機真空室均配有各種元件，能夠滿足各種類型的真空鍍膜的工藝要求。就像蒸發鍍膜機真空室內置蒸發金屬的裝置的話，便能完成金屬薄膜的蒸鍍工藝。盡管鍍膜機真空室的可能適配的工藝不同，但基本上它的組成離不開氣缸、封頭、法蘭、管道、門、水冷等結構。

真空室是真空設備的一個主要組成部位,真空鍍膜設備真空室設計主要考慮的就是密封性和可靠性，結構須要合理，真空設備的材料生產都是在真空室內進行的，材料對真空度的影響要小，設計不能馬虎，要注意一些問題。

（一）焊接要求

根據需要，在該設備真空室的結構設計上也有所差別，常見有圓柱形、圓錐形、盒形等結構。對于我們的鍍膜機真空室的焊接技術上，要求有基本五點：

為了防止鍍膜機的外殼變形，真空室的非氣密焊接一般用間斷焊。

焊縫的總長度盡量短些，高度要大于真空室殼體的三分之一厚度，才能避免一些漏氣的可能。

焊縫要便于做真空檢漏工作。

盡量別在焊縫上開孔。

焊縫與焊縫間別存在交叉，兩縫的中心線位置間應大于10cm的距離。

（二）主體材料

鍍膜機真空室通常以金屬軋制板材作為主要材料制作，作為真空室的主體材料要求可焊性、氣密性要求比較高。對于一般的鍍膜機真空室使用的主體材料通常是低碳鋼、合金鋼、鋁和銅之類的金屬或合金。而不銹鋼則一般用于需要高真空、耐腐蝕的工藝的型號中。

（三）封頭類型

作為鍍膜機真空室的一個重要零件——封頭，可與筒體焊接組成一個整體。真空鍍膜設備的封頭形式有球形、錐形、凸形、平蓋形等封頭類型。

（四）門的設計

為了便于設備的處理操作、方便各種機構在房間內的安裝、取送材料等，在蒸發鍍膜機真空室裝設了門。作為可動件的門，常見的形式有凸形、球形、平蓋形，等等。鍍膜機真空室的門通常由密封門板、門鏈、法蘭、密封圈等結構組成。根據鍍膜機真空室外殼的結構，其門板有凸面、平面兩種，形狀上有圓形、矩形之分。 矩形門的密封槽加工相對于圓形門來說比較不方便，所以一般適用在一些小型的真空鍍膜設備中。法蘭要做焊后精加工處理，才能避免法蘭變形而影響到設備的整體密封性能。

門的開關可選配手動、自動的形式。通常的真空室都有夾緊系統，夾緊系統有偏心夾緊系統、絲桿螺母系統等類別。夾緊系統施加于密封圈以“預緊力”。但如果鍍膜機真空室是鐘罩型的話，就不需要有夾緊系統，因為它本身的重量就可以給密封圈足夠的預緊力。在抽氣真空之后的大氣壓作用于密封圈，其密封性就更有保障了。

尺寸較大的鍍膜機真空室門受大氣環境壓力的影響更大，其密封圈更容易被損壞。比方說一個直徑為兩米的圓形門，它承受約為3 X 10N的作用力。所以對于密封槽的設計，應該避免密封圈受力過大。注意密封槽截面積要大于密封圈截面積，且密封圈結構變形允許在30％的范圍。

（五）水冷設計

鍍膜機真空室上通常均設有水冷系統。由于一個鍍膜機真空室有時會有較長時間處于一種高溫狀態下進行持續工作，為了可以防止設備殼體變形和保證真空密封性而設立。水冷系統結構形式有兩種：一種是在真空室外壁裝配冷卻水套，另一種是將水管進行螺旋式地焊接在真空室的外壁上。

具體要選擇哪種水冷系統，還得取決于設備的具體使用條件。如考慮焊縫修復方便性、觀察方便性、工作真空高低程度、加熱溫度差異、設備結構差異之類的問題。在蒸發鍍膜機真空室的熱負載量較小時用水管冷卻系統、熱負載量較大時則用冷卻水套系統來降溫，也可以兩種不同形式的水冷系統一起使用。

目前的真空鍍膜機真空室的殼體形式以圓筒形居多，主要是因為其制造更簡單，而且強度也不錯。真空室的制造除了主要的整體板材之外，對于一些尺寸較小的筒體型真空室來說，它亦可用一種熱軋的無縫鋼管作為主體材料打造。在真空室焊制完成后，要做好矯直和整形工作，再根據用戶具體需求來做成立式、臥式等形式的鍍膜機真空室。