羅茨真空泵顧名思義是一種利用機械能實現無內壓縮的真空泵，因此對真空度的要求比較高，如果出現了真空度不夠高的現象就要對產品進行檢查，找出故障原因并改正。

    1、真空泵溫度太高：被抽氣體溫度過高，應讓氣體冷卻后再進入真空泵內；應通冷卻水或用電風扇降溫，同時檢查有關部件配合間隙并按規定精度要求進行修理或更換。

　　2、吸入硬物使真空泵體磨損：應拆開羅茨真空泵除去硬物，對劃傷部件進行修復或更換。

　　3、真空泵冷卻水流量不夠：應加大冷卻水流量。

　　4、裝配不當，使轉子軸心位移，造成單面磨損：應拆開檢查并重新裝配。

　　5、羅茨真空泵本身漏氣：泵本身密封不嚴，在軸封處漏氣，應更換氣閥片；密封圈漏氣，應檢查所有密封部位的密封情況，更換破損的密封圈；氣鎮閥墊圈損壞或未擰緊，應更換墊圈并擰緊氣鎮閥；真空泵中隔板壓入時過盈量太大，造成真空泵腔變形而漏氣，應修整真空泵腔或更換；由于真空泵的端面油密封不良造成漏氣，應拆開端蓋，檢查是否有雜物或不平整，并進行清洗或修理。

　　6、轉子與轉子或轉子與殼體的間隙過大，空氣溫度過高：如果是濕式泵則可在進氣口處注入冷水，如果是干式泵則在出氣口加冷卻器，降低空氣溫度。

　　7、泵的進出口氣體介質的壓力差過大：如是干式泵需檢查安全閥是否失靈，如失靈出氣壓力可能偏高，如是濕式泵則可能是出口水封壓力過高或者是出口管徑過小、彎頭太多而增加了出口阻力所致，針對實際情況予以排除。

　　8、真空泵油有問題：油位過低，應加足油量到油標中心線；油被沾污，油質變壞，應更換新油；油的牌號不符，應換規定牌號的真空泵油；油路不通，羅茨真空泵腔內沒有保持適當的油量，應檢查油路及油閥的進油量，保持油路暢通。

　　9、轉子彈簧變形或折斷及旋片動作不靈：應整修或更換彈簧變形，使轉子積旋片配合良好，10、進氣口的過濾網被堵塞：應取下過濾網清洗干凈，再裝上去。

　　另外，羅茨真空泵加工不良或磨損會造成配合間隙過大，也會導致真空度不夠高，此時應檢查真空泵腔、轉子、旋片、端蓋板之間的配合間隙，投規定的精度要求進行修復或更換。