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催化氧化技術是近年來工程應用越來越廣泛的VOCs 處理技術，為典型的氣-固催化反應，其本質為VOCs 分子深度催化氧化反應，催化劑在反應中起到的作用是吸附反應物分子和降低反應活化能，從而在降低反應溫度的同時加快反應速率，生成對環境友好的水和二氧化碳，無二次污染。

根據催化劑的種類差別，在貴金屬催化劑和非貴金屬催化劑表面的反應機理也不盡相同，具體包括Langmuir-Hinshelwood 反應機理和MarsvanKrevelen 反應機理。

貴金屬催化劑的催化氧化反應一般遵循Langmuir-Hinshelwood 反應機理，如下圖所示，是指在發生催化反應過程之前，所有的反應物都已經被吸附到催化劑表面，表面反應為控速步，其本質為吸附粒子之間發生的反應。Langmuir-Hinshelwood反應機理是兩種吸附的分子進行表面反應的多相催化反應，即兩種反應物先吸附在固體催化劑上，在表面上發生反應，生成的產物再脫附，反應速度與兩種反應物在催化劑表面的覆蓋度成比。體現在貴金屬催化氧化VOCs 的反應過程中為: 貴金屬活性組分被認為處于還原態，作為氧化還原表面反應的活性中心而發揮作用。首先，氧氣在貴金屬活性位上分解為氧自由基，同時VOCs 氣體在貴金屬活性位上吸附，氧自由基進攻吸附的VOCs 氣體，形成無污染的二氧化碳和水，在催化劑表面脫附，進行下一個反應過程。

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