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3C閥門類別	衛生	流動方向	單向
應用領域	醫療衛生,環保,食品/農產品,生物產業,電子/電池

美國派克PARKER小流量微型比例閥電磁閥

派克漢尼汾（Parker Hannifin）簡稱為派克帕克，派克漢尼汾（Parker Hannifen）是一家總部位于美國俄亥俄州的跨國公司，成立于1918年，現已成為世界上大的專業生產和銷售各種制冷空調件、液壓、氣動和流體控制產品及元器件的性的公司。

派克漢尼汾性的流體控制產品供應商，派克擁有八大性集團組成：公司在其領域內用于分別是運動與控制集團、過濾集團、環境與工業控制CIC（Climate & Industrial Controls）、航天集團、液壓產品、儀表管閥集團、流體連接件集團與密封集團。

美國派克PARKER小流量微型比例閥電磁閥產品描述：

PARKER閥VSO-小流量微型比例閥
小流量，2通常閉 (NC) 比例閥，具有集成在內的熱補償，因此流量精確與重復度高，介質可選范圍大。
VSO®低流量閥為需要0-500sccm之間精確控制流量的應用提供了增強的流量控制。與PARKER閥VSO微型比例閥一樣，VSO®低流量微型比例閥提供與輸入電流成比例的氣體的精確流量控制。該閥可通過直流電流或脈寬調制以及閉環反饋進行控制，以提供*的系統性能。VSO®低流量微型比例閥除了能夠對廣泛的介質提供精確控制外，還非常適合于氣相色譜和質譜設備的制造商。

·允許精確的低流量（0—500 SCCM）控制，以提高儀器的精度
·熱補償以維持在大范圍介質上的精確流動
計算機自動校準和串行化以實現性能追溯
清潔氧氣和分析服務使用
經驗證的性能測試到1000萬個生命周期
符合RoHS標準

典型應用：
氣相色譜法
質譜法
壓力和流量控制
質量流量控制常開故障安全排氣