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技術文章

能研8745 - 氣體流量控制器的使用說明

閱讀:752          發布時間:2024-5-22

以下是一份氣體質量流量控制器的一般使用說明:


一、安裝


1. 選擇合適的安裝位置,確保環境溫度、濕度等符合設備要求。


2. 按照設備手冊正確連接氣體入口和出口管路,注意密封良好。


二、預熱

在使用或長時間未使用后,需進行適當時間的預熱,以確保測量準確性。


三、設置與操作


1. 通過控制面板或配套軟件設置所需的流量值。


2. 可根據需要選擇不同的單位(如 SCCM、SLPM 等)。


3. 確認設定的氣體類型與實際使用的氣體相符。


四、運行與監測


1. 開啟氣體供應,觀察流量顯示是否穩定在設定值附近。


2. 定期檢查顯示數值與實際需求是否一致。


五、維護與保養


1. 定期清潔設備表面,防止灰塵等雜質影響性能。


2. 按照規定的時間間隔進行校準,以保證測量精度。


3. 如發現故障或異常,應及時停止使用并聯系專業人員維修。


六、注意事項


1. 嚴格按照設備規定的壓力、溫度范圍操作。


2. 避免強烈震動和沖擊。


3. 對不同氣體可能需要特定的使用要求,務必遵循相關規定。



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