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產(chǎn)地類別	進(jìn)口	價格區(qū)間	面議
流量范圍	小流量	儀器種類	實驗室
應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,制藥/生物制藥

MET ONE 3411空氣顆粒計數(shù)器

MET ONE 3411 便攜式空氣顆粒計數(shù)器適用于半導(dǎo)體潔凈室監(jiān)測、過程標(biāo)記和顆粒故障排除等方面的應(yīng)用。MET ONE 3411 具有業(yè)界的 ISO 21501 數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性和再現(xiàn)性，是業(yè)內(nèi)最潔凈的 0.1um 便攜式空氣顆粒計數(shù)器。

產(chǎn)品特點

可讓您的潔凈室保持潔凈
0.1um級別的顆粒計數(shù)器能讓排氣扇點塵不染

· 熱插拔電池-確保儀器長時間連續(xù)運行
由于儀器使用的是熱插拔電池，故無論儀器是充電還是斷電、計數(shù)歸零及采用備份電源時都無需停機(jī)

· 測試向?qū)В═est Wizard）能使您在組織潔凈室時讓合規(guī)性更容易得到保證
可在監(jiān)控您的半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境時節(jié)省時間并消除錯誤

· 順序采樣系統(tǒng)
可用 MET ONE 3432 型順序采樣系統(tǒng)部署低成本的現(xiàn)場監(jiān)控解決方案。用單臺 MET ONE 3411 型空氣顆粒計數(shù)器可依次從多達(dá)32個位置進(jìn)行順序采樣。

· 靈活的通訊方式——設(shè)置簡單，數(shù)據(jù)傳輸方便
供選擇的無線，以太網(wǎng)和串口通訊可以將數(shù)據(jù)傳輸?shù)組ETONE數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)，或者客戶已有監(jiān)控軟件，以便減少文書工作

· 直觀的用戶界面
簡便的區(qū)域，位置和運行參數(shù)的配置和復(fù)制，節(jié)約運行時間。只需將完整的配置拷貝到一個 U 盤中，從而消除參數(shù)設(shè)置錯誤，并節(jié)省時間。還可以在整個顆粒計數(shù)組部署采樣計劃！

· 符合ISO 21501-4 標(biāo)準(zhǔn)的可靠性和準(zhǔn)確性
專用于滿足特殊顆粒計數(shù)要求，儀器與儀器之間的準(zhǔn)確度和再現(xiàn)性符合 ISO21501-4標(biāo)準(zhǔn)要求。

技術(shù)參數(shù)

量測粒徑范圍6個︰0.1, 0.2, 0.3, 0.5, 1.0, 5.0 μm

· 光源：氦氖激光器

· 流速：1.0 CFM (28.3 LPM)

· 零計數(shù)：ISO 21501-4 和 JIS B 9921 標(biāo)準(zhǔn):5分鐘內(nèi)1顆或少于一顆, 95% UCL

· 電池運作時間：內(nèi)建雙電池插槽,可熱抽換式鋰電池,操作時間5小時以上

· 數(shù)據(jù)儲存：5,000 個樣品，在歷史數(shù)據(jù)查看頁面上可以滾動(FIFO 或 Overflow)

· 數(shù)據(jù)傳輸：USB 客戶端 (版本為 1.1)USB 主機(jī)端 (版本為 1.1)RS485 配有TCP/IP 通訊協(xié)議的以太網(wǎng)配有802.11g通訊協(xié)議的無線輸出 (可選)METONE 3432 型順序采樣系統(tǒng) (警報和掃描探頭)

· 符合損失：在 50,000 /ft3 時，為5%，符合ISO 21501-4標(biāo)準(zhǔn)

· 重量：不含電池 15.9公斤,電池 0.66公斤

· 尺寸：33 W x 55.9 D x 22.9 H cm

· 語言：英語，法語，德語，意大利語，西班牙語，韓語*，日語*，中文

· 自動 CDA 清洗連接到CDA之后，清洗電磁閥會被激活

應(yīng)用領(lǐng)域

◎?qū)?yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的空氣顆粒計數(shù)：

· 潔凈室驗證監(jiān)測

· 潔凈室的分級

· ISO14644潔凈室驗證

· 潔凈室顆粒物監(jiān)測

· 生產(chǎn)過程的連續(xù)監(jiān)測

· 顆粒污染源的排除過程

· HEPA過濾器檢漏，粒徑大小包括 0.1、0.15、0.2、0.3、0.5 和 1um

· 過濾器掃描

· 高壓氣體監(jiān)測可簡單地通過氣體選擇菜單選擇相應(yīng)氣體，流量會自動調(diào)整

◎空氣顆粒計數(shù)器生命科學(xué)標(biāo)準(zhǔn)及委員會：

· 國際標(biāo)準(zhǔn)化組織 (ISO)

· ISO14644潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境

· ISO 21501顆粒分布測確定--用于無塵空間的光散射顆粒計數(shù)器

· 環(huán)境科學(xué)與技術(shù)研究所 (IEST)

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