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半導體制造設備用隔離式低濃度氧傳感器TB-II.F介紹
2023-3-15 閱讀(987)
半導體制造設備用隔離式低濃度氧傳感器TB-II.F介紹
Ecoazette TB-II.F系列是使用穩定氧化鋯陶瓷作為檢測部件的O2傳感器。
TB-III F系列用于測量常溫氣體,測量范圍廣,使用范圍廣。
通過信號電纜與控制單元※連接使用。
產品特點
1. 清潔氣體中從 ppmO2 水平到 100%O2 的寬范圍
2. 氧化鋯傳感器層層保護,結構可抵抗HCL和SOX等腐蝕性氣體的侵蝕。
3.不易受樣品流速影響,可在0.2~5L/min的流速范圍內測量
4.結構簡單,易于維護
產品用途
1.半導體制造等惰性氣體管線
2.N2回流爐
3. N2PSA
4.氣氛爐
5. 船用IGS、IGG
6.蒸氣