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透明或者半透明薄膜的膜厚測量系統運用技術
2022-4-26 閱讀(1122)
透明或者半透明薄膜的膜厚測量系統運用技術
一種行業標準、價格低廉、用途廣泛的臺式薄膜厚度測量系統,已安裝了 5,000 多臺。它可用于從研發到生產現場在線測量的廣泛應用。
F20可以在1秒左右輕松測量透明或半透明薄膜的膜厚、折射率和消光系數。
它還支持多點在線測量,并支持RS-232C和TCP/IP等外部通信,因此可以從PLC或上位機控制。
主要特點
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支持廣泛的薄膜厚度(1 nm 至 250 μm)
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支持寬波長范圍(190nm 至 1700nm)
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強大的膜厚分析
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光學常數分析(折射率/消光系數)
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緊湊型外殼
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支持在線測量
主要用途
平板 | 單元間隙、聚酰亞胺、ITO、AR薄膜、 各種光學薄膜等 |
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半導體 | 抗蝕劑、氧化膜、氮化膜、非晶/多晶硅等 |
光學鍍膜 | 減反射膜、硬涂層等 |
薄膜太陽能電池 | CdTe、CIGS、非晶硅等 |
砷化鋁鎵(AlGaAs)、磷化鎵(GaP)等 | |
醫療保健 | 鈍化、藥物涂層等 |