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Profilm3D 3D表面形狀測量系統(tǒng)的測量示例

2022-4-11  閱讀(1217)

Profilm3D 3D表面形狀測量系統(tǒng)的測量示例


測量示例

 

粗糙度測量

測量硅襯底上的粗糙度。可以測量符合 ISO 的線粗糙度 (R) 和表面粗糙度 (S)。

 

不均勻形狀的測量

測量銅基板上納米級的不均勻性。可以一次測量1平方毫米區(qū)域內(nèi)納米級的不均勻形狀。

鏡片形狀

測量鏡片的形狀。您可以高精度地觀察所表達的形狀。

步進測量

測量雙焦鏡片的水平差。

它是一個使用白光干涉技術(shù)的系統(tǒng),可以非接觸測量包括臺階和粗糙度在內(nèi)的三維形狀。

image.pngProfilm 3D 適用于測量小樣本,涵蓋了測量 3D 形狀所需的所有功能,并且比傳統(tǒng)產(chǎn)品更緊湊、更便宜。
多種測量模式,包括垂直掃描干涉法 (WLI),適合微米級臺階和形狀的高精度測量,相移干涉法 (PSI),適合測量納米級形狀和粗糙度。包括標準步驟樣品在內(nèi)的一切都是標準設(shè)備,包括用于放大物鏡、自動載物臺以及便于操作和分析和管理測量數(shù)據(jù)的軟件。

主要特點

  • 低價!
    在配備所有必要功能的同時實現(xiàn)低價

  • 納米量級
    的高分辨率 采用相移干涉法實現(xiàn)高分辨率

  • 全標準設(shè)備
    XY自動載物臺、手動左輪、自動光強調(diào)節(jié)、自動對焦功能

  • 緊湊型外殼
    主體占地面積為 30 x 30 厘米的緊湊型設(shè)計。

  • 配備 WLI 和 PSI 兩種測量模式
    一個裝置同時測量步距測量和粗糙度測量

  • 操作
    簡單 基本操作只需簡單的鼠標操作

  • 根據(jù) ISO 測量粗糙度 符合
    國際標準 ISO25178

  • 擴展
    性 多種物鏡選擇、數(shù)據(jù)拼接功能

主要用途

半導(dǎo)體晶圓凸塊、CMP焊盤等
醫(yī)療領(lǐng)域注射針、人工關(guān)節(jié)、支架等
安裝板銅線、凸塊、透鏡等





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