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日本dnk用于實驗和研究的手動批量曝光機MA-1200技術介紹
2021-2-25 閱讀(2810)
日本dnk用于實驗和研究的手動批量曝光機MA-1200技術介紹
MA-1200,MA-1400
- 這是一臺用于實驗和研究的手動批量曝光機,支持玻璃,晶圓,薄膜等。小批量生產的理想選擇。
- 可以選擇接觸曝光(軟/硬)和接近曝光。
- 支持大500 mm x 500 mm的板。配備了光學系統,可根據應用和板子尺寸將超高壓汞燈(500W,1kW,2kW,3.5kW)與各種鏡子,特殊透鏡,聚光鏡等??進行z佳組合。
MA-1200A
手動批量曝光機非常適合于高混合,小批量生產,實驗和研究,并且可以進行穩定的自動間隙控制。
- 通過減少占用空間實現節省空間。??
| MA-1400 | ||
面板尺寸 | 大200 x | 高達400 x 400mm | |
光源 | 超高壓汞燈:500W或1kW | 超高壓汞燈:2kW或3.5kW | |
尺寸和重量 | 車身尺寸 | 寬12x深1100 x高1725毫米 | 寬1440 x深1590 x高1882毫米 |
體重 | 400公斤 | 400kg(包括干凈的圍欄) | |
光源重量 | -- | 250公斤 | |
選項 | 支持特殊的工作尺寸,例如干凈的圍欄,背面對準,硬接觸(真空接觸類型),自動對準,破裂的基板(需要咨詢) |
| ||
晶圓尺寸 | ø2“?ø6” | |
光源 | 超高壓汞燈:500W或1kW | |
尺寸和重量 | 車身尺寸 | 寬850 x深1150 x高1665毫米 |
重量 | 400公斤 | |
選項 | 背面對齊,自動對齊,木板破裂,條形碼讀取器和LOG存儲支持(需要咨詢) |
MA-1200 | MA-1400 | |||
面板尺寸 | 大200 x 200mmø4“?ø6” | 高達400 x 400mm | ||
光源 | 超高壓汞燈:500W或1kW | 超高壓汞燈:2kW或3.5kW | ||
尺寸和重量 | 車身尺寸 | 寬12x深1100 x高1725毫米 | 寬1440 x深1590 x高1882毫米 | |
體重 | 400公斤 | 400kg(包括干凈的圍欄) | ||
光源重量 | -- | 250公斤 | ||
選項 | 支持特殊的工作尺寸,例如干凈的圍欄,背面對準,硬接觸(真空接觸類型),自動對準,破裂的基板(需要咨詢) |
MA-1200 | MA-1400 | |||
面板尺寸 | 大200 x 200mmø4“?ø6” | 高達400 x 400mm | ||
光源 | 超高壓汞燈:500W或1kW | 超高壓汞燈:2kW或3.5kW | ||
尺寸和重量 | 車身尺寸 | 寬12x深1100 x高1725毫米 | 寬1440 x深1590 x高1882毫米 | |
體重 | 400公斤 | 400kg(包括干凈的圍欄) | ||
光源重量 | -- | 250公斤 | ||
選項 | 支持特殊的工作尺寸,例如干凈的圍欄,背面對準,硬接觸(真空接觸類型),自動對準,破裂的基板(需要咨詢) |
*我們接受有關板子尺寸,水銀燈瓦數和特殊規格的咨詢。
MA-1200A | |||
晶圓尺寸 | ø2“?ø6” | ||
光源 | 超高壓汞燈:500W或1kW | ||
尺寸和重量 | 車身尺寸 | 寬850 x深1150 x高1665毫米 | |
重量 | 400公斤 | ||
選項 | 背面對齊,自動對齊,木板破裂,條形碼讀取器和LOG存儲支持(需要咨詢) |
*我們接受有關特殊規格的咨詢,例如板子尺寸,水銀燈瓦數和UV-LED安裝。
MA-1200 | MA-1400 | |||
面板尺寸 | 大200 x 200mmø4“?ø6” | 高達400 x 400mm | ||
光源 | 超高壓汞燈:500W或1kW | 超高壓汞燈:2kW或3.5kW | ||
尺寸和重量 | 車身尺寸 | 寬12x深1100 x高1725毫米 | 寬1440 x深1590 x高1882毫米 | |
體重 | 400公斤 | 400kg(包括干凈的圍欄) | ||
光源重量 | -- | 250公斤 | ||
選項 | 支持特殊的工作尺寸,例如干凈的圍欄,背面對準,硬接觸(真空接觸類型),自動對準,破裂的基板(需要咨詢) |
*我們接受有關板子尺寸,水銀燈瓦數和特殊規格的咨詢。
MA-1200A | |||
晶圓尺寸 | ø2“?ø6” | ||
光源 | 超高壓汞燈:500W或1kW | ||
尺寸和重量 | 車身尺寸 | 寬850 x深1150 x高1665毫米 | |
重量 | 400公斤 | ||
選項 | 背面對齊,自動對齊,木板破裂,條形碼讀取器和LOG存儲支持(需要咨詢) |
*我們接受有關特殊規格的咨詢,例如板子尺寸,水銀燈瓦數和UV-LED安裝。
MA-1200 | MA-1400 | |||
面板尺寸 | 大200 x 200mmø4“?ø6” | 高達400 x 400mm | ||
光源 | 超高壓汞燈:500W或1kW | 超高壓汞燈:2kW或3.5kW | ||
尺寸和重量 | 車身尺寸 | 寬12x深1100 x高1725毫米 | 寬1440 x深1590 x高1882毫米 | |
體重 | 400公斤 | 400kg(包括干凈的圍欄) | ||
光源重量 | -- | 250公斤 | ||
選項 | 支持特殊的工作尺寸,例如干凈的圍欄,背面對準,硬接觸(真空接觸類型),自動對準,破裂的基板(需要咨詢) |
*我們接受有關板子尺寸,水銀燈瓦數和特殊規格的咨詢。
MA-1200A | |||
晶圓尺寸 | ø2“?ø6” | ||
光源 | 超高壓汞燈:500W或1kW | ||
尺寸和重量 | 車身尺寸 | 寬850 x深1150 x高1665毫米 | |
重量 | 400公斤 | ||
選項 | 背面對齊,自動對齊,木板破裂,條形碼讀取器和LOG存儲支持(需要咨詢) |
*我們接受有關特殊規格的咨詢,例如板子尺寸,水銀燈瓦數和UV-LED安裝。