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平面平晶檢測干涉儀 突破了一等平面平晶限制，且其采樣點可達上百萬像素，能客觀反映被測平面全貌。 不僅測量精度高，而且具有*的測量效率。此款干涉儀可廣泛應用高精度...

球面鏡激光干涉儀是一種高性能模塊化組合檢測干涉儀。它采用國內*的組合式激光干涉模塊作為核心部件，主要用于檢測高精度快速球面和大曲率半徑球面面形。通過模塊化的設計...

水平式激光干涉儀（數字化動態分析系列）是一種使用動態分析方法的斐索型激光干涉儀。該干涉儀具備良好的抗振性能，可以在有空氣擾動，輕微振動的環境下檢測。這使得該干涉...