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上海申思特自動化設備有限公司

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Leybold萊寶TR211真空規管上海辦事處

2017-7-12  閱讀(990)

Leybold萊寶TR211真空規管上海辦事處


- 熱電阻真空規(皮拉尼規) TTR91/TTR91S/TTR96/TTR96S/TR211
- 冷陰極電離真空規(潘寧規) PTR225
- 薄膜電容規 CTR100/CTR91
- 薄膜/皮拉尼復合規 TTR100/TTR100S
- 冷陰極電離/皮拉尼復合規 PTR90
- 熱陰極電離/皮拉尼復合規 ITR90
- 便攜式真空表TM90/TM100
- 新型Center和Display系列真空儀表 


按真空度刻度方法分類 (1)真空計:直接讀取氣體壓力,其壓力響應(刻度)可通過自身幾何尺寸計算出來或由測力確定。真空計對所有氣體都是準確的且與氣體種類無關,屬于真空計的有U型鎊壓力計、壓縮式真空計和熱輻射真空計等。

(2)相對真空計:由一些氣體壓力有函數關系的量來確定壓力,不能通過簡單的計算進刻度,必須進行校準才能刻度。相對真空計一般由作為傳感器的真空計規管(或規頭)和用于控制、指示的測量器組成。讀數與氣體種類有關。相對真空計的種類很多,如熱傳導真空計和電離真空計等。 按真空計測量原理分類 直接測量真空計 這種真空計直接測量單位面積上的力,有: (1)靜態液位真空計:利用U型管兩端液面差來測量壓力。 (2)彈性元件真空計:利用與真空相連的容器表面受到壓力的作用而產生彈性變形來測量壓力值的大小。 間接測量真空計 壓力為10-1Pa時,作用在1cm2表面上力只有10-5N,顯然測量這樣小的力是困難的。但可根據低壓下與氣體壓力有關的物理量的變化來間接測量壓力的變化。屬于這類的真空計有: (1)壓縮式真空計:其原理是在U型管的基礎上再應用波義耳定律,即將一定量待測壓力的氣體,經過等溫壓縮


真空計可分為真空計和相對真空計兩大類。凡能從其本身測得的物理量(如液柱高度、工作液、比重等)直接計算出氣體壓力的稱真空計,這種真空計測量精度較高,主要用作基準量具。相對真空計主要利用氣體在低壓力下的某些物理特性(如熱傳導、電離、粘滯性和應變等)與壓力的關系間接測量,其測量精度較低,而且測量結果還與被測氣體種類和成分有關。因此相對真空計必須用真空計標定和校準后方能用作真空測量。但它能直接讀出被測壓力,使用方便,在實際應用中占絕大多數。真空技術需要測量的壓力范圍為105~10-11帕,甚至更小,寬達16個數量級以上,尚無一種真空計能適用于從粗真空(105~102帕)、低真空(102~10-1帕)、高真空(10-1~10-5帕)、超高真空(小于10-5帕)到*真空(小于10-10帕)的全范圍測量,因而有多種真空計。zui常用的有U形管真空計、壓縮式真空計、電阻真空計和冷熱陰極電離真空計。


U形管真空計用以測量粗真空和低真空的真空計(圖1)。在U字形的玻璃管中充以工作液(低蒸氣壓的油、汞)。管的一端被抽成真空(或直接通大氣),另一端接被測真空系統。根據兩邊管中的壓差所造成的液柱差可測出被測真空系統的壓力。壓縮式真空計又稱麥克勞真空計,是一種測量低真空和高真空的真空計。這種真空計一般用硬質玻璃制成(圖2a)。A是一根與被測真空系統相連接的開管,D、B為內徑相同的毛細管,V為球泡,其體積遠大于毛細管。測量時,通過活塞2抽真空,然后用活塞1充氣,使汞儲存器C中的汞上升到覆沒交叉口ΜΜ′,則D、V和B、A內的氣體被隔成兩個區域。再充氣繼續提高汞液面,D、V內的氣體則進一步被壓縮,壓力增高。這樣D、B間存在的壓差可由汞柱高度差來表示(圖2b)。玻璃容器的體積和毛細管的高度是可測出的,所以用玻意耳定律即可算出被測壓力。測量精度較高,在10-3帕時的精度小于或等于5%。電阻真空計又稱皮喇尼真空計,是一種測量低真空的相對真空計,主要由電阻式規管和測量線路兩部分組成。電阻式規管(圖3)是在管殼內封裝著一條電阻溫度系數較大的電阻絲,常用的為鎢或鉑絲。測量時,規管與被測真空系統相接,用一定的電壓、電流加熱電阻絲,其表面溫度可用電阻值來反映,且與周圍的氣體分子的熱傳導有關,而氣體分子的熱傳導又與壓力有關。當被測壓力降低時,由氣體分子傳走的熱量減小,電阻絲表面溫度就增高,電阻值增大;反之,電阻值減小。因此根據電阻值的大小就可測量出壓力。熱陰極電離真空計通稱電離真空計,主要用于高真空測量。它是由圓筒式熱陰極電離規管(圖4)和測量線路兩部分組成。這種規管與三極電子管相似,有3個電極:陰極(燈絲)、螺旋形柵極(加速極)和圓筒形收集極。測量時,規管與被測真空系統相連。通電后,熱陰極發射電子,在飛向帶正電位的加速極的路程中與管內空間的低壓氣體分子碰撞,使氣體分子電離。電離所產生的電子和離子,分別在加速極和收集極(帶負電位)上形成電子流Ie和離子流Ii。在被測氣體壓力低于10-1帕的狀況下,當電子流Ie恒定時,離子流Ii與被測真空系統中的氣體分子密度(亦即壓力p)成正比。因此,離子流的大小就可作為壓力的度量。這種真空計的測量范圍為10-1~10-5帕。此外,還有測量上限能達102帕以上的高壓力電離真空計


各種間接測量的數顯真空規,它們是:

分類原理介紹
按照真空計測量原理所利用的不同的物理機制,可將主要的真空計分為三大類,分別是利用力學性能、利用氣體動力學效應和利用帶電粒子效應的真空計。
利用力學性能的真空計典型的有波爾登規(Bourdon)和薄膜電容規;利用氣體動力學效應的典型真空計有皮拉尼(Pirani)電阻規和熱電偶規;利用帶電粒子效應的典型真空計有熱陰極電離規和冷陰極電離規。
波爾登規
如右圖所示,細的銅管受氣體壓力不同會有舒展現象,會帶動杠桿和齒輪旋轉,使得指針指示在不同刻度上,即可讀出相應的氣壓值。
這種規的測量范圍一般在100Pa至1atm。


歐瑞康萊寶公司作為全系列的真空設備供應商,擁有應用各種工作原理的真空計,其測量范圍從1000毫巴到10-12毫巴,覆蓋了15個數量級,可以滿足各種真空工藝的要求。歐瑞康萊寶的真空計家族包括:
- 用于測量粗真空的各種工作原理的機械指針式真空表。
- 各種間接測量的數顯真空規,它們是:
- 熱電阻真空規(皮拉尼規) TTR91/TTR91S/TTR96/TTR96S
- 冷陰極電離真空規(潘寧規) PTR225
- 薄膜電容規 CTR100/CTR91
- 薄膜/皮拉尼復合規 TTR100/TTR100S
- 冷陰極電離/皮拉尼復合規 PTR90
- 熱陰極電離/皮拉尼復合規 ITR90
- 便攜式真空表TM90/TM100
- 新型Center和Display系列真空儀表


德國萊寶真空計|萊寶真空規管TR211準確、輕便的Center和Display系列真空儀表顯示范圍從1000毫巴到10-10毫巴,具有數顯液晶顯示器,可快速、直觀、地反映真空系統的狀態。數顯讀數可以用毫巴、托、帕和微米汞柱四種單位來顯示。


另外,歐瑞康萊寶公司還擁有可以測量10-12mbar的超高真空測量儀表,這就是的IM540。
德國萊寶真空計|萊寶真空計|萊寶真空規管TR211今天,真空技術已經能獲得從1000毫巴帶10-13毫巴的超真空。為保證穩定、高質量的生產和工藝,必須采用的測量和控制儀器來檢測與調整所需要的工作壓強。
萊寶真空測量儀 今天,真空技術已經能獲得從1000毫巴帶10-13毫巴的超真空。為保證穩定、高質量的生產和工藝,必須采用的測量和控制儀器來檢測與調整所需要的工作壓強。


萊寶公司作為全系列的真空設備供應商,擁有應用各種工作原理的真空計,其測量范圍從1000毫巴到10-12毫巴,覆蓋了15個數量級,可以滿足各種真空工藝的要求。



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