 |
上海申思特自動化設(shè)備有限公司
主營產(chǎn)品： 美國E E傳感器,美國E E減壓閥,意大利ATOS阿托斯油缸,丹麥GRAS麥克風(fēng),丹麥GRAS人工頭, ASCO電磁閥,IFM易福門傳感器 |
10
聯(lián)系電話
|
上海申思特自動化設(shè)備有限公司
主營產(chǎn)品： 美國E E傳感器,美國E E減壓閥,意大利ATOS阿托斯油缸,丹麥GRAS麥克風(fēng),丹麥GRAS人工頭, ASCO電磁閥,IFM易福門傳感器 |
聯(lián)系電話
2016-12-16 閱讀(650)
E+E壓力傳感器溫漂及非線性校準技術(shù)
高精度E+E壓力傳感器是航空領(lǐng)域應(yīng)用非常廣泛的傳感器,常處于嚴苛的工作環(huán)境。為使E+E壓力傳感器在特殊的測試環(huán)境中保持高測量精度,傳感器的性能設(shè)計成為研究關(guān)鍵。合理的信號調(diào)理電路以及正確的誤差校準原理,將顯著提高傳感器性能。
E+E壓力傳感器溫漂及非線性校準技術(shù)
通過在傳感器的信號調(diào)理電路中使用可編程模擬信號調(diào)節(jié)器,對橋式壓力敏感元件的溫度漂移誤差及非線性誤差進行實時修正,使E+E壓力傳感器實現(xiàn)了智能化自校準,有效提升了E+E壓力傳感器的精度和環(huán)境適應(yīng)性。通過對微機電系統(tǒng)(Micro-electro-mechanical systems,MEMS)E+E壓力傳感器設(shè)計方法與封裝制作工藝問題的研究,針對不同應(yīng)用環(huán)境下對E+E壓力傳感器的性能、尺寸及封裝要求,提出相應(yīng)的傳感器力學(xué)結(jié)構(gòu)模型——微壓結(jié)構(gòu)、梁膜結(jié)構(gòu)及倒杯結(jié)構(gòu),通過相應(yīng)的FEM有限元建模方法對傳感器結(jié)構(gòu)進行仿真分析并優(yōu)化結(jié)構(gòu)尺寸,建立合理的力學(xué)結(jié)構(gòu);進行MEMS工藝設(shè)計及封裝工藝滿足傳感器微小尺寸、耐高溫沖擊響應(yīng)及高過載能力等要求。其中,針對微壓傳感器在測量過程中高靈敏度與非線性矛盾問題進行力學(xué)分析及仿真,分析不同結(jié)構(gòu)的傳感器的力學(xué)特性及結(jié)構(gòu)尺寸對傳感器輸出特性的影響,提出新型梁膜結(jié)構(gòu)微壓傳感器結(jié)構(gòu),對新型結(jié)構(gòu)傳感器進行MEMS工藝研究;根據(jù)空氣動力學(xué)試驗、航空測試及E+E壓力傳感器爆破試驗等對高溫E+E壓力傳感器的動態(tài)特性要求,采用倒杯式高頻響E+E壓力傳感器及齊平膜封裝方式,提高傳感器的動態(tài)響應(yīng)特性,滿足10 kHz到1 MHz的頻響要求;通過有限元分析耐高溫沖擊封裝結(jié)構(gòu),采用梁膜封裝結(jié)構(gòu)提高了耐高溫E+E壓力傳感器的可靠性。通過E+E壓力傳感器仿真驗證、靜態(tài)特性試驗及動態(tài)沖擊響應(yīng)試驗驗證傳感器力學(xué)結(jié)構(gòu)建模方法、MEMS工藝設(shè)計及封裝設(shè)計的正確性。
