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大平臺顯微鏡奧林巴斯OLYMPUS MX61L

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  • 型號
  • 品牌 OLYMPUS/奧林巴斯
  • 廠商性質 經銷商
  • 所在地 蘇州市
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更新時間:2023-12-01 13:44:52瀏覽次數:1643

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產品簡介

產地類別 進口 產品種類 正置
價格區間 5萬-10萬 配備圖像分析系統
大平臺顯微鏡奧林巴斯OLYMPUS MX61L
半導體/FPD檢查顯微鏡MX61L,透反射照明型顯微鏡是OLYMPUS MX61型號的升級版本,L即為長工作距離,適用大300mm的樣本,大平臺的顯微鏡。
能對應300 mm晶圓和17英寸FPD玻璃基板的電動型號(反射透射兼用)
應對明視場觀察到熒光觀察的多種觀察方法。切換物鏡時自動調節連動的亮度光圈等,實現了舒適的檢查環境。

詳細介紹

大平臺顯微鏡奧林巴斯OLYMPUS MX61L
OLYMPUS MX61/61L 產品特點縮短檢查用時,提高檢查效率自動聚焦附件 MX-AF透射光檢查照明 MX-TILLA/MX-TILLBMX的自動聚焦附件可配合所有的反射光照明觀察方式,甚至包括暗視場和微分干涉相襯觀察。實現快速和精確的自動對焦,甚至觀察方式轉換時也能實時準確的找到焦面。兩種照明裝置可選,通用型及高數值孔徑型。為FPD,MASK板檢查提供合適的照明,并且可配備起偏鏡,實現投射光簡易偏光觀察。高反差,更高分辨率,更高倍率檢查用于光刻膠殘留檢查的熒光觀察方式共聚焦附件 U-CFU熒光分光鏡模塊共聚焦光學系統可以提供更高的反差和分辨率,分辨率可達0.18μm,并可對多層線條的器件分層對焦,獲得高分辨率,高反差的共焦圖像。

    備有U.B.G等多種熒光方式可選,用于光顆膠殘留以及OLED檢查。方便的通訊接口用于顯微鏡倍率和孔徑光闌的控制和參數獲得 RS232C用于晶圓以及器件,甚至焊腳的內部檢查 近紅外線觀察附件MX61/MX61L標配包括一個RS232C接口,使得用PC控制顯微鏡電動部分成為可能,并且可以實現使工藝線上的幾臺顯微鏡都在同樣的設定狀態下工作。包括專門的紅外物鏡等附件,對從可見光到近紅外波段光線的像差做矯正,用于IC深層或內部檢查,可實現對WAFER BUMP的全面檢查。

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