超純水制備樹脂；裝填步奏及規范：1. 裝填：拋光樹脂是由氫型強酸性陽離子交換樹脂及氫氧型強堿性陰離子交換樹脂混合而成。在填裝時，需要考慮潔凈及分層的問題。管道及水箱罐體必須沖洗干凈后方可裝填；系統在拋光混床前一般有水箱，需*檢查和清洗水箱、管道及各設備，防止其中的有機物進入樹脂床，造成樹脂床的偏流以及對樹脂床的污染，裝填時應把清洗混床罐體的超純水*抽干，以確保不分層；沖洗時一定要使用超純水（建議15M以上）；如需用手裝填樹脂，必須將手洗干凈，切勿將油脂污物帶入樹脂槽內；如果換裝離子交換樹脂，必須*的清洗桶槽以及集水器，不得有殘留舊樹脂留在槽底，否則這些使用過的樹脂將會污染水質。離子交換樹脂裝填完并接上管線后，應先將桶槽上端的通氣孔打開，緩慢的輸入超純水，直至通氣孔溢水且不再有氣泡產生后，將通氣孔緊閉，開始采水；或采用其他方式，必須確保排氣*。拆卸步奏：由于每個樹脂罐是單獨時進出水，進出水口都加裝活接球閥，現場更換時先關閉一個樹脂罐的進出口球閥，把進出口球閥下面與拋光混床的連接口的活接拆掉，把離子交換樹脂罐移開，把樹脂罐頂端口拆開，用軟水管利用虹吸原理把離子交換樹脂罐內的水抽掉排到水溝內，超純水制備樹脂；當水排掉里面樹脂不多時把離子交換樹脂罐倒下把剩余樹脂全部倒掉，再用軟管接EDI產水口取樣閥沖洗離子交換樹脂罐，直到把樹脂罐沖洗干凈.?